[发明专利]一种射频模组及射频器件在审

专利信息
申请号: 202111453283.1 申请日: 2021-11-30
公开(公告)号: CN114171498A 公开(公告)日: 2022-03-11
发明(设计)人: 梁骥;陆原;裘进;张光瑞;张栓;陈学志 申请(专利权)人: 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司
主分类号: H01L23/538 分类号: H01L23/538;H01L23/31;H01L23/498;H01P3/06
代理公司: 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 代理人: 王礞
地址: 100176 北京市大兴区北京经济技术开发*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 射频 模组 器件
【权利要求书】:

1.一种射频模组,其特征在于,所述射频模组包括:N条相互串联和/或并联的射频单元;

每一条所述射频单元包括:

微同轴传输层;包括第一微同轴传输线和第二微同轴传输线,所述第一微同轴传输线包括第一信号传输金属和第一屏蔽金属;所述第二微同轴传输线包括第二信号传输金属和第二屏蔽金属;

射频芯片,电连接在所述第一信号传输金属与所述第二信号传输金属之间;

塑封层,覆盖设置在所述微同轴传输层上;其中,所述塑封层上设置有第一植球,通过第一导体柱连接至所述第一信号传输金属;第二植球,通过第二导体柱连接至所述第二信号传输金属。

2.如权利要求1所述的射频模组,其特征在于,还包括钝化层,设置在所述微同轴传输层与所述塑封层之间;

所述钝化层中设置有第一重布线层,设置在所述第一导体柱与所述第一信号传输金属之间;第二重布线层,设置在所述第二导体柱与所述第二信号传输金属之间。

3.如权利要求2所述的射频模组,其特征在于,所述射频芯片设置在所述微同轴传输层内,并电连接在所述第一信号传输金属与所述第二信号传输金属之间。

4.如权利要求3所述的射频模组,其特征在于,还包括:连接金属层,设置在所述射频芯片与所述塑封层之间;所述连接金属层一端连接所述第一屏蔽金属,另一端连接所述第二屏蔽金属。

5.如权利要求2所述的射频模组,其特征在于,所述射频芯片设置在所述塑封层之内,并通过第三重布线层连接所述第一信号传输金属,通过第四重布线层连接所述第二信号传输金属。

6.如权利要求2所述的射频模组,其特征在于,所述钝化层的材质为绝缘有机材料或绝缘无机材料。

7.如权利要求1所述的射频模组,其特征在于,在所述第一信号传输金属与所述第一屏蔽金属之间填充有介质层。

8.如权利要求1所述的射频模组,其特征在于,所述射频芯片为功率放大器,低噪声放大器,滤波器,双工器,射频开关中的任意一种。

9.如权利要求1所述的射频模组,其特征在于,还包括衬底,所述微同轴传输层形成在所述衬底上。

10.一种射频器件,其特征在于,包括如权利要求1~9任一权项所述的射频模组。

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