[发明专利]一种射频模组及射频器件在审
| 申请号: | 202111453283.1 | 申请日: | 2021-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN114171498A | 公开(公告)日: | 2022-03-11 |
| 发明(设计)人: | 梁骥;陆原;裘进;张光瑞;张栓;陈学志 | 申请(专利权)人: | 赛莱克斯微系统科技(北京)有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L23/31;H01L23/498;H01P3/06 |
| 代理公司: | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人: | 王礞 |
| 地址: | 100176 北京市大兴区北京经济技术开发*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 射频 模组 器件 | ||
1.一种射频模组,其特征在于,所述射频模组包括:N条相互串联和/或并联的射频单元;
每一条所述射频单元包括:
微同轴传输层;包括第一微同轴传输线和第二微同轴传输线,所述第一微同轴传输线包括第一信号传输金属和第一屏蔽金属;所述第二微同轴传输线包括第二信号传输金属和第二屏蔽金属;
射频芯片,电连接在所述第一信号传输金属与所述第二信号传输金属之间;
塑封层,覆盖设置在所述微同轴传输层上;其中,所述塑封层上设置有第一植球,通过第一导体柱连接至所述第一信号传输金属;第二植球,通过第二导体柱连接至所述第二信号传输金属。
2.如权利要求1所述的射频模组,其特征在于,还包括钝化层,设置在所述微同轴传输层与所述塑封层之间;
所述钝化层中设置有第一重布线层,设置在所述第一导体柱与所述第一信号传输金属之间;第二重布线层,设置在所述第二导体柱与所述第二信号传输金属之间。
3.如权利要求2所述的射频模组,其特征在于,所述射频芯片设置在所述微同轴传输层内,并电连接在所述第一信号传输金属与所述第二信号传输金属之间。
4.如权利要求3所述的射频模组,其特征在于,还包括:连接金属层,设置在所述射频芯片与所述塑封层之间;所述连接金属层一端连接所述第一屏蔽金属,另一端连接所述第二屏蔽金属。
5.如权利要求2所述的射频模组,其特征在于,所述射频芯片设置在所述塑封层之内,并通过第三重布线层连接所述第一信号传输金属,通过第四重布线层连接所述第二信号传输金属。
6.如权利要求2所述的射频模组,其特征在于,所述钝化层的材质为绝缘有机材料或绝缘无机材料。
7.如权利要求1所述的射频模组,其特征在于,在所述第一信号传输金属与所述第一屏蔽金属之间填充有介质层。
8.如权利要求1所述的射频模组,其特征在于,所述射频芯片为功率放大器,低噪声放大器,滤波器,双工器,射频开关中的任意一种。
9.如权利要求1所述的射频模组,其特征在于,还包括衬底,所述微同轴传输层形成在所述衬底上。
10.一种射频器件,其特征在于,包括如权利要求1~9任一权项所述的射频模组。
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