[发明专利]钨铋酸-铁铬酸铋网状纳米线异质结薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202111450591.9 申请日: 2021-12-01
公开(公告)号: CN114156351B 公开(公告)日: 2023-09-12
发明(设计)人: 孙书杰;杨东晓;薛颖珊;裴卓远;申俊雅;席琳琦;孙晓甜;殷小丰;房良;夏燕杰 申请(专利权)人: 信阳师范学院
主分类号: H01L31/0336 分类号: H01L31/0336;H01L31/072;C23C14/28;C23C14/08;B82Y15/00;B82Y40/00;B82Y30/00
代理公司: 苏州九方专利代理事务所(特殊普通合伙) 32398 代理人: 张文婷
地址: 464000 河*** 国省代码: 河南;41
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 钨铋酸 铁铬酸铋 网状 纳米 线异质结 薄膜 及其 制备 方法
【说明书】:

发明公开了一种钨铋酸‑铁铬酸铋纳米异质结薄膜及其制备方法,该薄膜通过脉冲激光沉积系统,以Bisubgt;2/subgt;FeCrOsubgt;6/subgt;为靶材,在具有网状结构的Bisubgt;2/subgt;WOsubgt;6/subgt;薄膜上生长而成,其中Bisubgt;2/subgt;WOsubgt;6/subgt;薄膜包括多个纵向纳米线和多个横向纳米线,纵向纳米线和横向纳米线相互交错、相互层叠,从而形成网状结构。本发明的制备方法具有普适性,操作工艺简单,价格低廉,利于规模化器件工程应用。所制备的钨铋酸‑铁铬酸铋纳米异质结薄膜表现出突出的光电性能,具有潜在的铁电光伏器件或铁电探测或铁电调控等器件应用前景。

技术领域

本发明涉及材料结构及合成技术领域,尤其涉及一种基于网状结构的钨铋酸-铁铬酸铋纳米线异质结薄膜及其制备方法。

背景技术

铁电氧化物具有自发极化、压电效应、热释电效应、光电效应等特征,能够使多种外场对电性能的控制以及反过来电场对应力、热、光性能的控制成为可能,因此在太阳能电池、光伏存储器、光电探测器、自旋光电子器件等领域里具有潜在的应用前景。

铋系层状钙钛矿氧化物是一类具有优异光催化性能的铁电材料,其中钨酸铋(Bi2WO6)是最简单的一个家族成员,其结构由(Bi2O2)2+层和(WO4)2-钙钛矿层堆垛而成。该种材料具有较窄的禁带宽度和优异的铁电性能,表现出突出的可见光催化分解水和降解有机污染物的高效催化性能,并且通过化学掺杂或者组分变化可以实现禁带宽度的规律性调制。铁铬酸铋 (Bi2FeCrO6)既是一种多铁功能材料,又是一种窄的禁带宽度多铁光伏材料,表现出突出的铁电光伏特性,是潜在的铁电光伏电池中的吸光材料。

目前关于Bi2WO6材料的研究主要集中在陶瓷和纳米结构领域,而未来为满足其多功能器件实际应用的需求,更需要着重研究这种材料的低维薄膜特性功能化的Bi2WO6铁电薄膜,通常采用激光脉冲沉积法、化学液相旋涂法、水热合成法、磁控溅射沉积法等手段制备。其制备出的薄膜结构大都是平面型薄膜。

由于Bi2WO6层状材料原子结构复杂,常用的化学气相沉积法和磁控溅射沉积法,只能制备多晶薄膜,几乎不可能制备出外延取向单晶薄膜,而脉冲激光沉积法或原子层沉积法能够实现高质量的外延薄膜制备,但通常制备条件苛刻。脉冲激光沉积系统是目前最常用的外延薄膜制备仪器,主要制备的薄膜是高质量的平面薄膜,所形成的Bi2WO6材料基异质结也主要为平面型异质结。

尽管这样的薄膜结构是铁电、压电器件所需的理想结构,因为其能够显示出优异性能的铁电、压电性能,也是目前最常见的薄膜形态,但是平面型薄膜也有明显的不足:

1)其薄膜厚度对光电性能影响很大,且薄膜内部会存在大量缺陷,这些缺陷又是载流子的复合中心,进而阻碍内建电场对电子空穴的有效转移;

2)对于Bi2WO6基平面型异质结来说,其耦合特性仅存在于两种材料的界面,极大限制了铁电薄膜新奇物性的出现。

发明内容

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于信阳师范学院,未经信阳师范学院许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111450591.9/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top