[发明专利]可延展电子器件、柔性基底及其制作方法有效
| 申请号: | 202111444909.2 | 申请日: | 2021-11-30 |
| 公开(公告)号: | CN114171497B | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
| 发明(设计)人: | 赵倩;董凯如;金子轩 | 申请(专利权)人: | 中国农业大学 |
| 主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L21/768 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 耿苑 |
| 地址: | 100083 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 延展 电子器件 柔性 基底 及其 制作方法 | ||
1.一种可延展电子器件的柔性基底,其特征在于,所述柔性基底包括:
柔性的平面形基底;
与所述平面形基底相对设置的波浪形基底;
所述波浪形基底具有多个在第一方向上依次排布的凸起区域,所述凸起区域的两端与所述平面形基底相对固定,两端之间的区域与相对的所述平面形基底之间具有间隙;
其中,所述波浪形基底背离所述平面形基底的一侧表面用于设置互连导线;所述柔性基底未受力形变时,所述波浪形基底的厚度大于所述平面形基底的厚度。
2.根据权利要求1所述的柔性基底,其特征在于,所述柔性基底包括所述互连导线,所述互连导线用于连接功能元件。
3.根据权利要求2所述的柔性基底,其特征在于,所述柔性基底未受力形变时,所述平面形基底处于平面状态,所述互连导线在所述平面形基底上的垂直投影为曲线。
4.根据权利要求1所述的柔性基底,其特征在于,所述柔性基底未受力形变时,在所述第一方向上,所述凸起区域 两端之间的距离为T,所述凸起区域与所述平面形基底之间的距离为A,T>A。
5.根据权利要求1-4中任一项 所述的柔性基底,其特征在于,所述柔性基底未受力形变时,在所述第一方向上,所述波浪形基底具有第一长度,所述平面形基底与所述柔性基底具有第二长度;所述第二长度小于所述第一长度;
当所述柔性基底在所述第一方向拉伸至所述第一长度时,所述波浪形基底处于长度为所述第一长度的展平状态。
6.一种可延展电子器件,其特征在于,包括:
如权利要求1-5任一项所述的柔性基底。
7.一种如权利要求1-5任一项所述柔性基底的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括:
形成一体成型的柔性平面形基底以及波浪形基底;
其中,所述波浪形基底与所述平面形基底相对设置;所述波浪形基底具有多个在第一方向上依次排布的凸起区域,所述凸起区域的两端与所述平面形基底相对固定,两端之间的区域与相对的所述平面形基底之间具有间隙。
8.根据权利要求7所述的制作方法,其特征在于,还包括:
在所述第一方向上,拉伸所述柔性基底,至所述波浪形基底展平;
在展平后的所述波浪形基底形成互连导线;
释放对所述柔性基底的拉力,使得所述柔性基底恢复拉伸前的形态。
9.根据权利要求7所述的制作方法,其特征在于,制备所述柔性基底的方法包括:
基于需求确定所述互连导线以及所述柔性基底的几何参数;
根据所述几何参数制备模具;
通过所述模具,一次性浇筑形成所述柔性基底。
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