[发明专利]一种efuse单元、efuse单元的应用电路及efuse阵列在审
申请号: | 202111441919.0 | 申请日: | 2021-11-30 |
公开(公告)号: | CN114360617A | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 黎旺;晏颖 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G11C17/16 | 分类号: | G11C17/16;G11C17/18 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 王关根 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 efuse 单元 应用 电路 阵列 | ||
本发明提供一种efuse单元、efuse单元的应用电路及efuse阵列,efuse单元结构包括一熔丝、一二极管和一NMOS读选择管;其中,所述熔丝的一端为所述efuse单元结构的VL端口,另一端与所述二极管的N极、所述NMOS读选择管的源极相互连接;所述二极管的P极为所述efuse单元结构的BL端口;所述NMOS读选择管的栅极为所述efuse单元结构的WLR端口;所述NMOS读选择管的漏极为所述efuse单元的SAref端口。本发明对常规efuse单元进行改进,利用二极管替代传统的NMOS编程控制管,实现了缩小efuse整体面积的目的。
技术领域
本发明涉及半导体制造技术领域,具体涉及一种efuse单元、efuse单元的应用电路及efuse阵列。
背景技术
随着对芯片指标的要求越来越高。efuse作为芯片内部用于参数设置的专用模块,整体面积成为efuse模块重要指标之一。而在efuse的内部功能模块中,efuse单元阵列占据整个面积的一半以上,特别是大容量efuse中的比例更大,因此,控制efuse单元及efuse阵列面积是缩减整个efuse模块面积的关键途径。
efuse属于一次性可编程存储器(OTP),基于电子迁移(EM)原理,通过熔断熔丝的方式实现编程功能。由于编程所需的熔断电流较大,因此常规efuse单元都包含一个较大W/L尺寸的控制管,其面积占单元面积3/4以上,导致efuse单元面积较大。图1显示为现有技术中的一种5端口efuseN*N阵列的示意图。如图1所示,该efuse单元包括一熔丝、一NMOS读选择管和一NMOS编程控制管。NMOS编程控制管面积较大,导致efuse面积较大和整体功耗较大。
发明内容
鉴于上述现有技术的缺点,本发明的目的在于提供一种efuse单元结构、efuse单元结构的应用电路及efuse阵列结构,用于解决现有技术中efuse面积大的问题。
本发明提供一种efuse单元,至少包括:一熔丝、一二极管和一NMOS读选择管;所述熔丝的一端与所述二极管的N极、所述NMOS读选择管的源极相互连接,另一端为所述efuse单元的VL端口;所述二极管的P极为所述efuse单元的BL端口;所述NMOS读选择管的栅极为所述efuse单元的WLR端口;所述NMOS读选择管的漏极为所述efuse单元的SAref端口。
本发明提供一种efuse单元的应用电路,至少包括:
efuse单元;所述efuse单元包括一熔丝、一二极管和一NMOS读选择管;所述熔丝的一端与所述二极管的N极、所述NMOS读选择管的源极相互连接,另一端为所述efuse单元的VL端口;所述二极管的P极为所述efuse单元的BL端口;所述NMOS读选择管的栅极为所述efuse单元的WLR端口;所述NMOS读选择管的漏极为所述efuse单元的SAref端口;
PMOS电源控制管;以及
NMOS字线选择管;
其中,所述efuse单元的VL端口连接所述NMOS字线选择管的漏极;所述efuse单元的BL端口连接所述PMOS电源控制管的漏极和BL线;所述efuse单元的WLR端口接外部控制信号WLR;所述efuse单元的SAref端口连接SA模块。
优选地,所述NMOS字线选择管的栅极接字控制信号WL,源极接地。
优选地,所述PMOS电源控制管的源极接编程电压VQPS,栅极接位控制信号BLC。
本发明提供一种efuse阵列,至少包括:
由efuse单元构成的N*N矩阵;所述efuse单元结构包括一熔丝、一二极管和一NMOS读选择管;每个efuse单元中的熔丝的一端与所述二极管的N极、所述NMOS读选择管的源极相互连接;
该N*N矩阵中同一行的所述熔丝的另一端连接一NMOS字线选择管的漏极;
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