[发明专利]压电振动片、压电振子、振荡器和压电振动片的制造方法

说明书

本发明提供抑制频率调整之后的频率的改变且振动特性优异的高质量的压电振动片。压电振动片(3)具备具有一对振动臂部(31)的压电板(30)、配置于压电板(30)的表面和背面的电极膜(40)以及在振动臂部(31)的表面(64)侧处配置于电极膜(40)上的频率调整用配重金属膜(50)。振动臂部(31)的背面(63)具有压电板(30)露出的背侧露出部(61)。振动臂部(31)的表面(64)具有配重金属膜(50)和电极膜(40)被除去而压电板(30)露出的表侧露出部(62)。表侧露出部(62)的整体从压电板(30)的厚度方向观察而相对于背面(63)上的电极膜(40)隔开间隔而与背侧露出部(61)重叠。

技术领域

本发明涉及压电振动片、压电振子、振荡器和压电振动片的制造方法。

背景技术

例如，在便携电话或便携信息终端设备等电子设备中，作为被用于时刻源或控制信号等的定时源、参考信号源等的装置，使用利用石英等的压电振子。作为这种压电振子，已知将压电振动片气密封闭于形成有腔的壳体内的压电振子。

上述的压电振动片具备具有基部和从基部互相平行地延伸设置的一对振动臂部的压电板和配置于振动臂部的外表面的激振电极。关于压电振动片，将电压施加至激振电极，从而各振动臂部以基端部(与基部联接的部分)为起点而沿互相接近/分离的方向以既定谐振频率振动。

在此，作为压电振动片(振动臂部)的频率的调整方法，存在如下的方法：在振动臂部的顶端部预先形成配重金属膜，将该配重金属膜部分地除去(修整)而调整配重金属膜的质量，从而调整为振动臂部的频率成为目标值。例如，在下述专利文献1中，公开了如下的构成：在对配重金属膜照射激光而将配重金属膜部分地除去来进行谐振频率的粗调之后，对配重金属膜照射离子束来进行谐振频率的微调。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-118652号公报。

发明内容

发明要解决的课题

然而，在振动臂部的外表面，除了配重金属膜以外，配置有具有与激振电极相同的膜构造的电极膜。因此，如果如上述的专利文献1那样使用激光来进行配重金属膜的修整，则配重金属膜被除去，入射至压电板的激光透过压电板。由此，激光照射至配置于与配重金属膜相反的一侧的电极膜，电极膜的被照射部被除去，并且有可能在电极膜的残存部的端缘产生毛刺。而且，如果上述的毛刺与壳体接触等而脱落或变形，则存在已通过修整来调整的频率改变这一课题。

于是，本发明提供抑制频率调整之后的频率的改变且振动特性优异的高质量的压电振动片、压电振子、振荡器和压电振动片的制造方法。

用于解决课题的方案

本发明的压电振动片具备具有一对振动臂部的压电板、配置于压电板的表面和背面的电极膜以及在前述振动臂部的表面侧处配置于前述电极膜上的频率调整用配重金属膜，前述振动臂部的背面具有前述压电板露出的背侧露出部，前述振动臂部的前述表面具有前述配重金属膜和前述电极膜被除去而前述压电板露出的表侧露出部，前述表侧露出部的整体从前述压电板的厚度方向观察而相对于前述背面上的前述电极膜隔开间隔而与前述背侧露出部重叠。

依据本发明，当在作为频率调整使用激光器来将配重金属膜与其下层的电极膜一起除去的过程中形成表侧露出部时，透过压电板的激光通过背侧露出部。因此，激光未照射至压电板的背面上的电极膜，因而能够抑制在背面侧的电极膜形成毛刺。因而，能够抑制起因于电极膜的毛刺的脱落或变形等的频率的改变。因此，能够提供抑制频率调整之后的频率的改变且振动特性优异的高质量的压电振动片。

在上述的压电振动片中，也可以是，前述电极膜在前述表侧露出部的周围配置于前述振动臂部的端面。