[发明专利]压电振动片、压电振子、振荡器和压电振动片的制造方法

权利要求书

1.一种压电振动片，具备：

具有一对振动臂部的压电板；

配置于压电板的表面和背面的电极膜；以及

在所述振动臂部的表面侧处配置于所述电极膜上的频率调整用配重金属膜，

所述振动臂部的背面具有所述压电板露出的背侧露出部，

所述振动臂部的所述表面具有所述配重金属膜和所述电极膜被除去而所述压电板露出的表侧露出部，

所述表侧露出部的整体从所述压电板的厚度方向观察而相对于所述背面上的所述电极膜隔开间隔而与所述背侧露出部重叠。

2.根据权利要求1所述的压电振动片，其中，所述电极膜在所述表侧露出部的周围配置于所述振动臂部的端面。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的压电振动片，其中，

所述振动臂部的背面具备所述振动臂部的顶端侧的顶端缘和从所述顶端缘向所述振动臂部的基端侧延伸的一对侧缘，

所述背侧露出部包括所述振动臂部的所述背面中的所述顶端缘和所述侧缘。

4.根据权利要求1或权利要求2所述的压电振动片，其中，

所述电极膜中的配置于所述振动臂部的所述背面的部分从所述厚度方向观察跨越所述配重金属膜中的所述振动臂部的基端侧的端缘。

5.根据权利要求1或权利要求2所述的压电振动片，其中，

所述振动臂部的背面具备所述振动臂部的顶端侧的顶端缘和从所述顶端缘向所述振动臂部的基端侧延伸的一对侧缘，

所述背侧露出部包括所述振动臂部的所述背面中的所述顶端缘和所述侧缘，

所述电极膜中的配置于所述振动臂部的所述背面的部分从所述厚度方向观察跨越所述配重金属膜中的所述振动臂部的基端侧的端缘。

6.一种压电振子，具备：

根据权利要求1至权利要求5中的任一项所述的压电振动片；和

将所述压电振动片气密封闭的壳体。

7.一种振荡器，具备根据权利要求6所述的压电振子，

所述压电振子作为振荡子电连接至集成电路。

8.一种压电振动片的制造方法，具备：

电极膜形成工序，其在具有一对振动臂部的压电板的表面和背面配置电极膜，并且在所述振动臂部的背面形成所述压电板露出的背侧露出部；

金属膜形成工序，其在所述振动臂部的表面侧处在所述电极膜上以从所述压电板的厚度方向观察至少一部分与所述背侧露出部重叠的方式将配重金属膜成膜；以及

修整工序，其在所述振动臂部的表面侧处、从所述厚度方向观察而与所述背侧露出部重叠且相对于所述背面上的所述电极膜隔开间隔的范围内，利用激光器来将所述配重金属膜和所述电极膜除去。

9.根据权利要求8所述的压电振动片的制造方法，其中，

在所述修整工序中，使用皮秒激光器或飞秒激光器。

10.根据权利要求8或权利要求9所述的压电振动片的制造方法，其中，

所述电极膜形成工序具备：

将所述电极膜成膜的电极膜成膜工序；和

将所述电极膜图案化并形成激振电极和所述背侧露出部的图案化工序。

11.根据权利要求8或权利要求9所述的压电振动片的制造方法，其中，

所述电极膜形成工序在掩蔽所述振动臂部的所述背面的一部分的状态下将所述电极膜成膜，将所述一部分作为所述背侧露出部。