[发明专利]一种节能MEMS光开关在审
| 申请号： | 202111440543.1 | 申请日： | 2021-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN114325951A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 陆青;何明;杨浩 | 申请（专利权）人： | 桂林光隆集成科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石燕妮 |
| 地址： | 541004 广西壮族自治区桂林市*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 节能 mems 开关 | ||
1.一种节能MEMS光开关，其特征在于，
包括开关本体和升降组件；
所述开关本体包括壳体和MEMS芯片，所述壳体设置于所述升降组件一侧，所述壳体具有滑槽，所述滑槽位于所述壳体一侧，所述MEMS芯片设置于所述升降组件一侧，且位于所述壳体内。
所述升降组件包括滑动板、固定杆、顶杆和两个第一弹簧，所述滑动板与所述壳体滑动连接，并与所述MEMS芯片固定连接，且贯穿所述壳体，所述滑动板具有固定槽，所述固定槽位于所述滑动板一侧，所述顶杆与所述壳体滑动连接，并贯穿所述壳体，两个所述第一弹簧分别与所述壳体固定连接，并分别与所述滑动板固定连接，均位于所述滑动板和所述壳体之间。
2.如权利要求1所述的一种节能MEMS光开关，其特征在于，
所述升降组件还包括两个定位伸缩杆，两个所述定位伸缩杆分别与所述滑动板固定连接，并分别与所述壳体固定连接，均位于靠近所述第一弹簧一侧。
3.如权利要求1所述的一种节能MEMS光开关，其特征在于，
所述滑动板包括滑动板本体和按压头，所述滑动板本体与所述MEMS芯片固定连接，且位于所述MEMS芯片一侧，所述按压头与所述滑动板本体固定连接，且位于远离所述壳体一侧。
4.如权利要求3所述的一种节能MEMS光开关，其特征在于，
所述固定杆包括固定杆本体和第二弹簧，所述第二弹簧与所述滑动板本体固定连接，且位于所述固定槽内，所述固定杆本体与所述第二弹簧固定连接，且位于所述固定槽内。
5.如权利要求1所述的一种节能MEMS光开关，其特征在于，
所述顶杆包括限位块和顶杆本体，所述顶杆本体与所述壳体滑动连接，且位于所述滑槽内，所述限位块与所述顶杆本体固定连接，且位于远离所述壳体一侧。
6.如权利要求1所述的一种节能MEMS光开关，其特征在于，
所述开关本体还包括输出头和输入头，所述输出头与所述壳体固定连接，并贯穿所述壳体，所述输入头与所述壳体固定连接，并贯穿所述壳体。
7.如权利要求6所述的一种节能MEMS光开关，其特征在于，
所述MEMS芯片包括芯片基座和反射镜，所述芯片基座与所述滑动板本体固定连接，且位于靠近所述输出头一侧，所述反射镜与所述芯片基座固定连接，且位于远离所述滑动板本体一侧。
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