[发明专利]一种节能MEMS光开关

说明书

本发明涉及光学元件技术领域，具体涉及一种节能MEMS光开关；包括开关本体和升降组件，开关本体包括壳体和MEMS芯片，升降组件包括滑动板、固定杆、顶杆和两个第一弹簧，使用开关本体时，按下滑动板，滑动板向下滑动并压缩第一弹簧，当滑动板上的固定槽与壳体上的滑槽对齐时，固定杆滑出固定槽，并插入滑槽内固定住滑动板，从而下降MEMS芯片反射光线，断开开关本体时，推动顶杆在滑槽内滑动，将固定杆顶入固定槽内，第一弹簧复位将滑动板顶起，从而上升MEMS芯片，整个过程机械升降，无需使用静电发生装置，解决现有光开关静电发生装置失灵，使得MEMS芯片移动无法反射光线，光开关突然断开的问题。

技术领域

本发明涉及光学元件技术领域，尤其涉及一种节能MEMS光开关。

背景技术

MEMS光开关是一种基于MEMS技术开发的新型自由空间光交换器件，由阵列MEMS芯片和阵列多芯准直器组成，广泛用于光路传输和转换，以实现N×N全通道任意切换，实现数据在N×N通道中的全光交换。

MEMS光开关的基本原理就是在MEMS芯片上刻出若干个微小的镜片，通过静电或其他控制力使可以活动的微镜发生升降或转动，以改变输入光的传播方向，从而实现开关功能，具有毫秒级的开关速度。

现有MEMS光开关长时间使用后，内部静电发生装置会老化失灵，从而使得MEMS芯片移动无法反射光线，使得光开关突然断开。

发明内容

本发明的目的在于提供一种节能MEMS光开关，旨在解决现有光开关静电发生装置失灵，使得MEMS芯片移动无法反射光线，光开关突然断开的问题。

为实现上述目的，本发明提供了一种节能MEMS光开关，包括开关本体和升降组件；

所述开关本体包括壳体和MEMS芯片，所述壳体设置于所述升降组件一侧，所述壳体具有滑槽，所述滑槽位于所述壳体一侧，所述MEMS芯片设置于所述升降组件一侧，且位于所述壳体内。

所述升降组件包括滑动板、固定杆、顶杆和两个第一弹簧，所述滑动板与所述壳体滑动连接，并与所述MEMS芯片固定连接，且贯穿所述壳体，所述滑动板具有固定槽，所述固定槽位于所述滑动板一侧，所述顶杆与所述壳体滑动连接，并贯穿所述壳体，两个所述第一弹簧分别与所述壳体固定连接，并分别与所述滑动板固定连接，均位于所述滑动板和所述壳体之间。

其中，所述升降组件还包括两个定位伸缩杆，两个所述定位伸缩杆分别与所述滑动板固定连接，并分别与所述壳体固定连接，均位于靠近所述第一弹簧一侧。

其中，所述滑动板包括滑动板本体和按压头，所述滑动板本体与所述MEMS芯片固定连接，且位于所述MEMS芯片一侧，所述按压头与所述滑动板本体固定连接，且位于远离所述壳体一侧。

其中，所述固定杆包括固定杆本体和第二弹簧，所述第二弹簧与所述滑动板本体固定连接，且位于所述固定槽内，所述固定杆本体与所述第二弹簧固定连接，且位于所述固定槽内。

其中，所述顶杆包括限位块和顶杆本体，所述顶杆本体与所述壳体滑动连接，且位于所述滑槽内，所述限位块与所述顶杆本体固定连接，且位于远离所述壳体一侧。

其中，所述开关本体还包括输出头和输入头，所述输出头与所述壳体固定连接，并贯穿所述壳体，所述输入头与所述壳体固定连接，并贯穿所述壳体。

其中，所述MEMS芯片包括芯片基座和反射镜，所述芯片基座与所述滑动板本体固定连接，且位于靠近所述输出头一侧，所述反射镜与所述芯片基座固定连接，且位于远离所述滑动板本体一侧。