[发明专利]加热灯安装结构及半导体腔室

权利要求书

1.一种加热灯安装结构，用于将加热灯安装于半导体腔室的腔体上，其特征在于，所述加热灯安装结构包括固定环、灯座和与所述灯座对应设置的调节组件，其中，所述固定环用于固定设置在所述半导体腔室的腔体上，所述固定环开设有安装槽，所述灯座容置于所述安装槽中，所述灯座用于与所述加热灯固定且电连接，以向所述加热灯提供电能；所述调节组件与所述灯座连接，用于调节所述灯座的倾斜度，进而实现调节所述加热灯的倾斜度。

2.根据权利要求1所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述调节组件包括固定件、转轴和调节部件，其中，所述固定件固定设置在所述安装槽中；所述转轴的两端固定设置于所述安装槽的相对两槽壁上，所述灯座具有贯通孔，所述转轴贯穿所述灯座，且所述灯座可相对所述转轴转动；所述调节部件与所述灯座连接，并与所述固定件可升降的连接，用于通过相对于所述固定件升降，带动所述灯座以所述转轴为轴旋转，来调节所述灯座的倾斜度。

3.根据权利要求2所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述固定件包括固定框架，所述调节部件包括调节框架、调节螺杆和转动件，其中，所述调节框架套设在所述灯座上，所述固定框架固定设置在所述安装槽中，并环绕在所述调节框架的周围，所述调节螺杆贯穿所述固定框架的上边框，并与所述固定框架的上边框螺纹连接，且所述调节螺杆通过所述转动件与所述调节框架可转动的连接。

4.根据权利要求3所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述调节部件还包括锁紧件，所述锁紧件与所述调节螺杆可升降的连接，并能够与所述固定框架的上边框相抵，用于将所述调节螺杆与所述固定框架的上边框锁紧。

5.根据权利要求1所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述固定环中开设有沿所述固定环径向设置的容纳空间，所述容纳空间与所述安装槽连通，所述灯座包括电连接件，所述电连接件的第一端用于与所述加热灯的电极接头电连接，所述电连接件的第二端暴露在所述灯座外且容置于所述容纳空间中。

6.根据权利要求1所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述安装槽的数量为多个，多个所述安装槽沿所述固定环的周向间隔分布，所述灯座以及所述调节组件均为多个，且所述灯座与所述调节组件一一对应设置，多个所述灯座一一对应的设置在多个所述安装槽中。

7.根据权利要求1所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述固定环上设置有散热结构，所述散热结构用于对所述加热灯传递至所述灯座的热量进行散热。

8.根据权利要求7所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述散热结构包括多个散热凸部，多个所述散热凸部沿所述固定环的周向间隔分布。

9.根据权利要求3所述的加热灯安装结构，其特征在于，所述转动件包括球关节。

10.一种半导体腔室，其特征在于，包括腔体、加热灯、金属反光部件和如权利要求1-9任意一项所述的加热灯安装结构，其中，所述腔体用于为半导体工艺提供工艺环境，所述加热灯安装结构的所述固定环沿所述腔体的周向固定设置在所述腔体上，用于将所述加热灯与所述腔体连接，所述反光部件相对所述加热灯固定设置，用于将所述加热灯发出的光线反射入所述腔体内。