[发明专利]一种晶圆刻蚀设备

权利要求书

1.一种晶圆刻蚀设备，包括刻蚀池（1）、防护罩（2）、PLC处理器（3）、支撑架（4）、第一导向轮（5）、推料气缸（6）、气动杆（7）、刻蚀盒（8）、摆动合页（9）、第一活塞（10）、第一缸体（11）和伸缩杆（12），所述刻蚀池（1）上安装有防护罩（2），其特征在于：所述刻蚀池（1）的内壁一侧通过摆动合页（9）配合安装有刻蚀盒（8），所述刻蚀盒（8）的上下两侧内壁上安装有多个第一导向轮（5），所述刻蚀盒（8）上开设气孔（13），所述刻蚀盒（8）的底侧和刻蚀池（1）的一侧内壁上均设置有连接座，所述伸缩杆（12）的顶端通过销轴配合安装在刻蚀盒（8）底侧的连接座内，所述伸缩杆（12）的底端安装有第一活塞（10），所述刻蚀池（1）的一侧内壁上的连接座通过销轴配合安装有第一缸体（11），所述第一活塞（10）设置在第一缸体（11）内，所述刻蚀池（1）的外壁一侧固定有第二缸体（101），所述第二缸体（101）和所述第一缸体（11）通过导管连通，所述第二缸体（101）的内部设置有第二活塞（107），所述第二活塞（107）的顶侧竖直设置有活塞杆（109），所述活塞杆（109）的顶端固接有电极球（104），所述活塞杆（109）的底部套设有第一弹簧（110），所述第二缸体（101）的顶侧安装有安装架，所述安装架的顶侧横板内开设有螺孔，所述螺孔内配合安装有螺杆（106），所述螺杆（106）的底端固定有电极板（108），所述安装架的一侧安装有警示灯（105）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆刻蚀设备，其特征在于：所述第二缸体（101）的中部和底部分别连接有排气管（103）和进气管（102），所述排气管（103）和进气管（102）上均安装有单向阀。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆刻蚀设备，其特征在于：所述刻蚀池（1）上焊装有支撑架（4），所述支撑架（4）上安装有推料气缸（6），所述推料气缸（6）的作用端安装有气动杆（7），所述刻蚀盒（8）的顶侧设置有线环，所述气动杆（7）的底端与线环通过丝线连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆刻蚀设备，其特征在于：所述支撑架（4）上安装有PLC处理器（3），所述PLC处理器（3）与警示灯（105）通过信号连接，所述电极球（104）、警示灯（105）和电极板（108）通过导线串联连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆刻蚀设备，其特征在于：所述防护罩（2）的顶侧安装有处理箱（301）和第三缸体（308），所述第三缸体（308）上安装有摆动电机（303），所述摆动电机（303）的转轴上安装有旋转盘（304），所述旋转盘（304）的端面偏心位置上通过销轴配合安装有连杆（305），所述连杆（305）的底端吊装有第三活塞（307），所述处理箱（301）和第三缸体（308）通过U型管（302）连通。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆刻蚀设备，其特征在于：所述第三缸体（308）的底部连接有抽气管（306），所述防护罩（2）上设置有进气孔，所述处理箱（301）与进气孔通过软管连接，所述抽气管（306）和软管上均设置有单向阀。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆刻蚀设备，其特征在于：所述防护罩（2）上固定有导料盒（201），所述导料盒（201）的上下两侧内壁上均安装有第二导向轮（202），所述导料盒（201）的底部端口上下两侧分别安装有安装座（203），所述安装座（203）内部通过固定轴安装有密封板（204），所述固定轴的两端安装有簧片。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆刻蚀设备，其特征在于：所述导料盒（201）的底部端口设置在刻蚀盒（8）的顶部端口上方。