[发明专利]一种高效电池生产工艺及设备在审
| 申请号： | 202111418749.4 | 申请日： | 2021-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN114121732A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 马世猛;代智杰;周广福 | 申请（专利权）人： | 苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙） |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18;C23C28/00 |
| 代理公司： | 北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙) 11825 | 代理人： | 黄照 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 电池 生产工艺 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种高效电池生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：
S1：硅片由进出口腔室进入设备，保持真空状态，将硅片送进第一PECVD腔室进行正面镀iP层；
S2：将硅片送入翻片腔室进行翻片后，由传送腔室送入第二PECVD腔室进行反面镀iN层；
S3：将硅片进入PVD腔室进行反面镀膜；
S4：将硅片送入翻片腔室进行翻片后，进入PVD腔室进行正面镀膜；
S5：将硅片送入蒸镀腔室进行镀膜。
2.根据权利要求1所述的一种高效电池生产工艺，其特征在于：硅片放置在载板上进行腔室转移。
3.根据权利要求2所述的一种高效电池生产工艺及设备，其特征在于：通过传送腔室对载板以及硅片进行转移。
4.根据权利要求1所述的一种高效电池生产工艺及设备，其特征在于：硅片由进出口腔室进入设备后，关闭进出口腔室，设备抽真空。
5.根据权利要求1所述的一种高效电池生产工艺及设备，其特征在于：在蒸镀腔室镀膜完成后，由进出口腔室送出硅片进行电池后续工序。
6.一种高效电池生产设备，其特征在于，包括：一个进出口腔室、两个PECVD腔室、一个蒸镀腔室、一个翻片腔室、一个传送腔室以及一个预留腔室。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
