[发明专利]一种压接式功率器件内部结构及其制作方法在审
| 申请号: | 202111415555.9 | 申请日: | 2021-11-25 |
| 公开(公告)号: | CN114068501A | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
| 发明(设计)人: | 刘克明;童颜;王豹子;姚二现;胡小刚;陈紫默;莫申扬;刘东明;常飞浩;柴聘聘 | 申请(专利权)人: | 南瑞联研半导体有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L21/50;H01L21/60 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董成 |
| 地址: | 211100 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 压接式 功率 器件 内部结构 及其 制作方法 | ||
1.一种压接式功率器件内部结构,其特征在于,包括:集电极电路板(1)、发射极电路板(2)和PCB栅极电路板(5),所述集电极板(1)设有若干个芯片子单元(7);所述发射极电路板(2)设有导电缓冲层(3),每个芯片子单元(7)通过凸台(6)连接导电缓冲层(3),所述PCB栅极电路板(5)连接所述导电缓冲层(3)。
2.根据权利要求1所述的一种压接式功率器件内部结构,其特征在于:
所述个芯片子单元(7)包括上钼片(7-1)、IGBT芯片(7-2)和下钼片(7-3),所述IGBT芯片(7-2)一面连接所述上钼片(7-1),另一面连接所述下钼片(7-3)。
3.根据权利要求2所述的一种压接式功率器件内部结构,其特征在于:
所述栅极电路板(5)设有栅极针(8),所述栅极电路板(5)通过所述栅极针(8)连接所述IGBT芯片(7-2)。
4.根据权利要求3所述的一种压接式功率器件内部结构,其特征在于:
还包括绝缘限位框架(4),所述绝缘限位框架(4)设有凸台导向孔(4-2)和栅极针导向孔(4-1)。
5.根据权利要求1所述的一种压接式功率器件内部结构,其特征在于:
所述集电极电路板(1)和/或发射极电路板(2)材质为纯铜,表面镀有镍。
6.根据权利要求1所述的一种压接式功率器件内部结构,其特征在于:
所述导电缓冲层(3)材质为铝、锡或锌中的任意一种。
7.根据权利要求1所述的一种压接式功率器件内部结构,其特征在于:
所述PCB栅极电路板(5)中PCB板与栅极接触面镀有镍金。
8.根据权利要求4所述的一种压接式功率器件内部结构,其特征在于:
所述绝缘限位框架(4)材质为聚四氟乙烯或者PPS。
9.一种压接式功率器件内部结构的制作方法,其特征在于:
选择制作材料上钼片(7-1)、下钼片(7-3)、IGBT芯片(7-2)、陶瓷管壳E极铜板、导电缓冲层(3)、绝缘限位框(4)、PCB栅极电路板(5)、陶瓷管壳C极铜板和栅极针(8);
陶瓷管壳E极铜板的表面设置凸台(6),凸台(6)之间的高度差控制在10um以内,在陶瓷管壳E极铜板表面镀镍;
将导电缓冲层(3)铺设在在陶瓷管壳E极铜板上,PCB栅极电路板(5)连接导电缓冲层(3),PCB栅极电路板(5)通过栅极针(8)引出栅极;
绝缘限位框架(4)设有凸台导向孔(4-2)和栅极针导向孔(4-1),凸台(6)插入凸台导向孔(4-2),栅极针(8)插入栅极针导向孔(4-1);
通过银烧结工艺将上钼片(7-1)和下钼片(7-3)烧结在IGBT芯片(7-2)的两面形成芯片子单元(7);
上钼片(7-1)连接凸台(6);
下钼片(7-3)连接陶瓷管壳C极铜板。
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