[发明专利]一种判断通孔开路缺陷的方法在审

专利信息
申请号: 202111414177.2 申请日: 2021-11-25
公开(公告)号: CN114119544A 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 苏晓菁;韦亚一;粟雅娟;张利斌;刘畅;张世鑫 申请(专利权)人: 南京诚芯集成电路技术研究院有限公司
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06T7/62
代理公司: 南京苏博知识产权代理事务所(普通合伙) 32411 代理人: 赖忠辉
地址: 211899 江苏省南京市浦口区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 判断 开路 缺陷 方法
【说明书】:

发明涉及集成电路技术领域,具体涉及一种判断通孔开路缺陷的方法;包括:定义金属轮廓台阶长度,并微分化金属轮廓得到金属轮廓面积;对通孔轮廓面积进行计算,并将通孔轮廓替换成和通孔轮廓面积相等的正方形;计算所述正方形与所述金属轮廓的重叠面积;基于重叠面积推算沿金属轮廓方向和垂直金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率,从而判断通孔开路是否缺陷,套刻误差会导致通孔无法准确的落在预定设计位置,最终会落在一定范围内,通过推算开路的缺陷概率,判断在范围内是否会发生开路,解决现有技术只能确定预定位置是否开路,无法确定工艺波动下的开路风险。

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域,尤其涉及一种判断通孔开路缺陷的方法。

背景技术

用于光学临近效应矫正的计算判断在通孔开路缺陷,主要方法包含的步骤为:

(1)计算via在曝光/刻蚀之后的轮廓与金属metal轮廓的重叠面积overlappedarea;

(2)计算重叠面积与原设计尺寸via的面积的比例,表达为

面积比例=重叠面积/原设计尺寸via的面积

(3)根据工艺变动范围进行测算,最终会设定面积比例的安全阈值(threshold);

(4)如果实际的面积比例高于或等于安全阈值threshold:

面积比例≥安全阈值threshold

该通孔via就可以被判定为不会发生开路缺陷,因为如果通孔与金属的实际重叠面积足够,就不会发生开路现象。

(5)如果实际的面积比例低于安全阈值threshold:

面积比例<安全阈值threshold

该通孔via就可以被判定为可能发生开路缺陷,并且通孔与金属的实际重叠面积越小,面积比例越小,其会越小于安全阈值threshold,最终也会更加容易导致开路现象的发生。

发明内容

本发明的目的在于提供一种判断通孔开路缺陷的方法,旨在解决现有技术只能确定预定位置是否开路,无法确定工艺波动下的开路风险。

为实现上述目的,本发明提供了一种判断通孔开路缺陷的方法,包括以下步骤:定义金属轮廓台阶长度,并微分化金属轮廓得到金属轮廓面积;

对通孔轮廓面积进行计算,并将通孔轮廓替换成和通孔轮廓面积相等的正方形;

计算所述正方形与所述金属轮廓的重叠面积;

基于所述重叠面积推算沿所述金属轮廓方向和垂直所述金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率,从而判断通孔开路是否缺陷。

其中,所述推算沿金属轮廓方向开路缺陷概率的具体方式为:设定所述金属轮廓同方向发生通孔开路的概率安全阈值;

通过所述正方形与所述金属轮廓同方向的移动距离,计算同方向重叠面积;

将所述通孔轮廓的原始面积与所述同方向重叠面积相除,得到同向安全阈值;

基于所述同向安全阈值推算沿所述金属轮廓方向的开路缺陷概率。

其中,所述推算垂直金属轮廓方向开路缺陷概率的具体方式为:设定与所述金属轮廓垂直方向发生通孔开路的概率安全阈值;

通过所述正方形与所述金属轮廓垂直方向移动的距离,计算垂直方向重叠面积;

将所述通孔轮廓的原始面积与所述垂直方向重叠面积相除,得到垂直安全阈值,

基于所述垂直安全阈值推算垂直于所述金属轮廓线方向的开路缺陷概率。

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