[发明专利]一种判断通孔开路缺陷的方法

权利要求书

1.一种判断通孔开路缺陷的方法，其特征在于，包括以下步骤：

定义金属轮廓台阶长度，并微分化金属轮廓得到金属轮廓面积；

对通孔轮廓面积进行计算，并将通孔轮廓替换成和通孔轮廓面积相等的正方形；

计算所述正方形与所述金属轮廓的重叠面积；

基于所述重叠面积推算沿所述金属轮廓方向和垂直所述金属轮廓方向潜在的开路缺陷概率，从而判断通孔开路是否缺陷。

2.如权利要求1所述的一种判断通孔开路缺陷的方法，其特征在于，

所述推算沿金属轮廓方向开路缺陷概率的具体方式为：设定所述金属轮廓同方向发生通孔开路的概率安全阈值；

通过所述正方形与所述金属轮廓同方向的移动距离，计算同方向重叠面积；

将所述通孔轮廓的原始面积与所述同方向重叠面积相除，得到同向安全阈值；

基于所述同向安全阈值推算沿所述金属轮廓方向的开路缺陷概率。

3.如权利要求1所述的一种判断通孔开路缺陷的方法，其特征在于，

所述推算垂直金属轮廓方向开路缺陷概率的具体方式为：设定与所述金属轮廓垂直方向发生通孔开路的概率安全阈值；

通过所述正方形与所述金属轮廓垂直方向移动的距离，计算垂直方向重叠面积；

将所述通孔轮廓的原始面积与所述垂直方向重叠面积相除，得到垂直安全阈值，

基于所述垂直安全阈值推算垂直于所述金属轮廓线方向的开路缺陷概率。

4.如权利要求2所述的一种判断通孔开路缺陷的方法，其特征在于，

所述正方形与所述金属轮廓同方向的移动距离，计算同方向重叠面积的具体方式为：

将所述正方形沿水平正方向移动，计算移动后的重叠面积；

将所述正方形沿水平负方向移动，计算移动后的重叠面积。

5.如权利要求3所述的一种判断通孔开路缺陷的方法，其特征在于，

所述正方形与所述金属轮廓垂直方向移动的距离，计算垂直方向重叠面积的具体方式为：

将所述正方形沿垂直所述金属轮廓方向上移，计算移动后的重叠面积；

将所述正方形沿垂直所述金属轮廓方向下移，计算移动后的重叠面积。