[发明专利]一种三辊金刚线多线切割机

说明书

本发明涉及一种三辊金刚线多线切割机，属于金刚线切割技术领域，包括床身，所述床身上设有切割组件，所述切割组件包括三个辊体，且其中一个辊体相对于另外两个辊体倾斜设置，三个辊体所在区域形成切割室，且所述切割室的顶部具有用于进给待切割件的进给组件，所述床身上安装有并排设置的收线装置和放线装置，所述放线装置放出的金刚线依次通过三个辊体并在三个辊体上均匀缠绕形成线网后与收线装置连接，本发明能够避免金刚线出现跳线、斜拉等现象，提高线网稳定性，有助于提高切割质量和切割效率，进给精度高，动态响应性能强，同时，采用滚动进电方式，减小导电辊与金刚线之间摩擦力，提升进电元件寿命，降低金刚线磨损。

技术领域

本发明属于金刚线切割技术领域，具体地说涉及一种三辊金刚线多线切割机。

背景技术

晶硅切片领域向高切割效率、大片化、细线化、高速化、大装载量的方向发展，目前主要采用双主辊金刚线切割方式，大片化的需求使得切割辊的直径越来越大，增大了切割辊的转动惯量，影响切割辊同步控制的动态性能。同时，随着切割辊的直径增大，轴距随之增大，导致硅片切割质量下降。此外，在大装载量和切割效率提高的同时使得切削负荷不断增大，细线化和高速化导致金刚线可使用张力下降、同步控制困难。

申请号为CN201910969518.9，名称为金刚石多线电火花放电切削方法及线切割装置，在传统两辊切割方式下，增加第三辊(进电辊)为金刚线线网供电，金刚线经一侧排线轮、张力轮和导向轮，缠绕到两个加工辊，再经过导向轮、张力轮和排线轮，最后缠绕到另一侧收放线轮上。三辊式结构增大了切割空间，使得切割辊的直径可以小于被切割硅棒的直径，从而为减小转动惯量提供空间，但是，现有的复合加工方式存在以下问题：1、增设进电辊增加了跳线、斜拉的可能性，导致金刚石颗粒易脱离金刚线甚至断线，影响切割效率和切割质量；2、采用多线切割方式的线网结构较为复杂，线网张力稳定性不易把控，增加了线网张力；3、采用电刷供电方式，电刷磨损较快，需要频繁停机更换电刷，影响切割效率；4、进给机构笨重，导致进给精度低，动态响应性能差，长久易静力变形。

发明内容

针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种三辊金刚线多线切割机。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种三辊金刚线多线切割机，包括床身，所述床身上设有切割组件，所述切割组件包括三个辊体，且其中一个辊体相对于另外两个辊体倾斜设置，三个辊体所在区域形成切割室，且所述切割室的顶部具有用于进给待切割件的进给组件，所述床身上安装有并排设置的收线装置和放线装置，所述放线装置放出的金刚线依次通过三个辊体并在三个辊体上均匀缠绕形成线网后与收线装置连接。

进一步，所述三个辊体包括第一切割辊、第二切割辊及导电辊，所述第一切割辊、第二切割辊平行设置，所述导电辊位于第一切割辊、第二切割辊的下方，且导电辊在平面内倾斜设置，保证金刚线走线方向与导电辊表面的过渡线槽相契合。

进一步，所述第一切割辊和第二切割辊的直径相同。

优选的，所述导电辊的直径小于第一切割辊的直径，且导电辊不需要独立驱动，即导电辊为从动导电辊，运转的加速、减速依靠线网作用力实现。

优选的，所述导电辊的直径略小于第一切割辊的直径相同，且导电辊需要独立驱动，即导电辊为主动导电辊。

进一步，所述导电辊的轴线与第一切割辊的轴线夹角为ɑ，且α0°，所述过渡线网在平行线网所在面的投影与平行线网的夹角为β，且β0°。

进一步，所述第一切割辊上开设与其轴线相垂直的第一线槽，所述第二切割辊上开设与其轴线相垂直的第二线槽，所述过渡线槽与导电辊的轴线相垂直。

进一步，所述第一线槽、第二线槽和过渡线槽均平行且等间隔的设有多个。

进一步，所述线网包括过渡线网以及用于形成切割区的平行线网，且过渡线网在平行线网所在面的投影与平行线网存在夹角。