[发明专利]基板处理装置

权利要求书

1.一种基板处理装置，包括：

腔室；

多个单元，布置在所述腔室上；以及

升降机构，使所述多个单元升降，

其中，所述多个单元中的至少任意一个具有单元侧槽，

所述升降机构具有升降机构侧槽，

通过将固定部件插入至所述多个单元中的至少任意一个的单元侧槽和所述升降机构侧槽，从而在将所述多个单元固定到所述升降机构的状态下使所述多个单元升降。

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其中，

使所述单元侧槽与所述升降机构侧槽相对，以形成所述固定部件的插入口。

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

所述固定部件的插入口的剖面形状被形成为菱形。

4.根据权利要求2所述的基板处理装置，其中，

所述固定部件的插入口的剖面形状被形成为圆形。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述升降机构具有多个所述升降机构侧槽，

使所述多个单元中的至少任意一个的单元侧槽与所述多个升降机构侧槽中的至少任意一个相对。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述升降机构通过手动方式被驱动。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述多个单元包括多个上部单元、匹配器、天线、以及连结部件之中的两个以上的单元。

8.根据权利要求7所述的基板处理装置，其中，

所述连结部件具有将所述单元侧槽和/或所述升降机构侧槽拉起的机构。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的基板处理装置，其中，

所述升降机构以能够进行拆装的方式固定于所述基板处理装置。

10.根据权利要求9所述的基板处理装置，其中，

所述升降机构以能够进行滑动的方式安装在安装部上，所述安装部设置于所述基板处理装置的外壁。

11.根据权利要求10所述的基板处理装置，其中，

所述升降机构被构成为通过使所述单元侧槽与所述升降机构侧槽相对并将所述固定部件插入所述固定部件的插入口，从而能够向所述多个单元传递动力。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的基板处理装置，其中，

当使所述单元侧槽与所述升降机构侧槽相对时，所述单元侧槽与所述升降机构侧槽线对称。