[发明专利]一种半导体加工设备

说明书

本发明公开了一种半导体加工设备，具体包括：吊板，该吊板底部两侧均固定连接有固定滑道，所述固定滑道内壁滑动连接有限位滑块；升降杆，该升降杆贯穿吊板并与吊板固定连接，所述升降杆顶部固定连接有吊杆；固定装置，该固定装置顶部与升降杆底部固定连接，所述固定装置两侧分别与吊板底部两侧的固定滑道侧面固定连接；所述固定装置包括：固定座，该固定座内部开设有储存空腔，所述储存空腔内部设置有分流壳，本发明涉及半导体加工技术领域。该一种半导体加工设备，使工件各处都能够均匀的与处理液接触，使工件处理更加均匀，提高成品率，并且能够使工件外侧能够同时被处理液处理，保持各部分处理时长相同。

技术领域

本发明涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工设备。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。目前半导体加工中通常需要将半导体浸入处理液中进行处理，处理时一般通过提篮进行作为支撑将半导体浸入处理液中，但是半导体放置在提篮中时有部分与提篮接触导致处理液无法均匀全面的对半导体进行处理，影响半导体成品率。

发明内容

（一）解决的技术问题

针对现有技术的不足，本发明提供了一种半导体加工设备，解决了半导体放置在提篮中时有部分与提篮接触导致处理液无法均匀全面的对半导体进行处理，影响半导体成品率的问题。

（二）技术方案

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种半导体加工设备，具体包括：

吊板，该吊板底部两侧均固定连接有固定滑道，所述固定滑道内壁滑动连接有限位滑块；

升降杆，该升降杆贯穿吊板并与吊板固定连接，所述升降杆顶部固定连接有吊杆；

固定装置，该固定装置顶部与升降杆底部固定连接，所述固定装置两侧分别与吊板底部两侧的固定滑道侧面固定连接；

所述固定装置包括：

固定座，该固定座内部开设有储存空腔，所述储存空腔内部设置有分流壳，所述分流壳底部连通有进水泵的出水口；

安装装置，该安装装置设置在固定座顶部，所述安装装置顶部固定连接有盖板，设置有固定座和盖板，需要取放工件时，通过升降杆即可盖板打开，工件的取放操作比较方便；

弧形支撑板，该弧形支撑板顶部和底部均固定连接有支座，设置有弧形支撑板，可通过弧形支撑板对固定座与盖板之间的距离进行限位，避免盖板下压损伤安装装置，防护性较好。

通过升降杆带动盖板上升，盖板带动安装装置打开即可将工件放置在安装装置内部，当固定座上的安装装置内部放满工件时，通过升降杆控制盖板下降并将安装装置关闭，然后即可将固定装置浸入处理液中，此时水泵即可通过进水管将处理液送入分流壳内部，分流壳内部的处理液进入安装装置内部，即可对安装装置内部的工件进行处理，同时处理液也可从固定装置侧面，即固定座与盖板之间的部分进入安装装置内部对工件进行处理。

优选的，所述固定座两侧分别与吊板底部两侧的固定滑道侧面固定连接，所述盖板两侧均与固定滑道内部的限位滑块固定连接。

优选的，所述弧形支撑板顶部的支座与盖板侧壁滑动连接，所述弧形支撑板底部的支座与固定座顶部固定连接。

优选的，所述进水泵的进水口通过进水管延伸至固定座外部，所述安装装置设置有多组并且均匀分布在固定座内部。