[发明专利]一种具有双面压印功能的纳米压印设备

说明书

本发明公开了一种具有双面压印功能的纳米压印设备，包括：压印板、对位单元和曝光单元，所述压印板包括第一压印板，第二压印板和第三压印板，所述对位单元位于所述设备腔体内部，并固定在设备上方；所述第一压印板位于所述设备腔体内部上方、对位单元下方；所述第三压印板位于设备腔体内下方、对位单元下方；所述第二压印板位于设备腔体内下方、所述第三压印板的一侧，所述曝光单元位于所述第三压印板的下方；还包括基片、工作模具。本发明的有益效果是：第一压印板，第二压印板和第三压印板，结合对位单元，实现基片自动动对位和旋转，既可以完成单面压印动作，也可完成双面压印动作；曝光单元发出紫外光将纳米压印胶固化。

技术领域

本发明涉及纳米压印技术领域，特别涉及一种具有双面压印功能的纳米压印设备。

背景技术

纳米压印技术是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术，纳米压印根据固化方式、压印面积、模板等，可分成热压印、紫外压印、微接触压印、步进压印等。为降低生产成本，提升压印准确性，需要基板尽可能多的压印微纳结构，且不出现结构缺失现象。因此，需要改进压印设备，以实现基片双面压印。

发明内容

本发明的目的在于克服以上技术缺陷，提出一种具有双面压印功能的纳米压印设备。

本发明为实现其技术目的所采取的技术方案是：一种具有双面压印功能的纳米压印设备，包括：压印板、对位单元和曝光单元，所述压印板包括第一压印板，第二压印板和第三压印板，

所述对位单元位于所述设备腔体内部，并固定在设备上方；所述第一压印板位于所述设备腔体内部上方、所述对位单元下方；所述第三压印板位于设备腔体内下方、所述对位单元下方；所述第二压印板位于设备腔体内下方、所述所述第三压印板的一侧，所述曝光单元位于所述第三压印板的下方；

还包括基片、工作模具，所述基片固定在第一压印板的下表面，基片上设有对位标记；所述工作模具包括第一工作模具和第二工作模具，所述工作模具上设有与对位标记相对应的对位标记。

优选的，所述第一压印板包括移动块，限位块和导轨，带动吸附固定板左右移动；

所述第一压印板还包括电机，伸缩杆，连接块，固定块，带动吸附固定板上下移动完成第一次压印动作；

所述吸附固定板的中间区域设有透明区，所述吸附固定版的下表面设有真空槽，所述真空槽内设有与真空泵连接的真空孔；

所述第一压印板用于固定基片，并带动基片上下移动，完成压印动作。

优选的，所述第二压印板包括用于吸附固定第二工作模具的翻转固定板，所述翻转固定板的上表面设有真空槽，所述真空槽槽内设有真空孔，所述真空槽外侧设有工作模具定位槽，在所述工作模具定位槽外侧，远离旋转轴一侧设有缓冲固定块，所述翻转固定板中心区域设有透明区；

所述第二压印板还包括旋转轴、支撑柱、旋转轴支撑柱、支撑柱、支撑柱升降电机，所述第二压印板卡接在旋转轴上，能够绕旋转轴旋转，所述第二压印板用于吸附固定第二工作模具。

优选的，所述第三压印板包括上表面设置的真空槽，所述真空槽槽内设有真空孔，所述真空槽外侧设有工作模具定位槽；

所述第三压印板还包括用于移动第一工作模具的前后移动块、左右移动块、升降杆、电机、旋转块、旋转电机，所述前后移动块用于带动第一工作模具前后移动，所述左右移动块用于带动第一工作模具左右移动，所述升降杆和电机用于带动第一工作模具上下移动，所述旋转块，旋转电机用于带动第一工作模具旋转。

优选的，对位单元位于两个导轨之间，对位单元包括电机、伸缩杆、固定块、对位组件，电机带动伸缩杆伸长或缩短，从而带动对位组件上下移动，所述固定块连接伸缩杆和对位组件。