[发明专利]一种具有双面压印功能的纳米压印设备

权利要求书

1.一种具有双面压印功能的纳米压印设备，包括：压印板、对位单元和曝光单元，其特征在于：所述压印板包括第一压印板，第二压印板和第三压印板，所述对位单元位于设备腔体内部，并固定在设备上方；所述第一压印板位于所述设备腔体内部上方、所述对位单元下方；所述第三压印板位于设备腔体内下方、所述对位单元下方；所述第二压印板位于设备腔体内下方、所述第三压印板的一侧，所述曝光单元位于所述第三压印板的下方；还包括基片、工作模具，所述基片固定在第一压印板的下表面，基片上设有对位标记；所述工作模具包括第一工作模具和第二工作模具，所述工作模具上设有与对位标记相对应的对位标记；

所述第一压印板包括移动块，限位块和导轨，带动吸附固定板左右移动；所述第一压印板还包括电机，伸缩杆，连接块，固定块，带动吸附固定板上下移动完成第一次压印动作；所述吸附固定板的中间区域设有透明区，所述吸附固定板的下表面设有真空槽，所述真空槽内设有与真空泵连接的真空孔；所述第一压印板用于固定基片，并带动基片上下移动，完成压印动作；

所述第二压印板包括用于吸附固定第二工作模具的翻转固定板，所述翻转固定板的上表面设有真空槽，所述真空槽槽内设有真空孔，所述真空槽外侧设有工作模具定位槽，在所述工作模具定位槽外侧，远离旋转轴一侧设有缓冲固定块，所述翻转固定板中心区域设有透明区；所述第二压印板还包括旋转轴、支撑柱、旋转轴支撑柱、支撑柱、支撑柱升降电机，所述第二压印板卡接在旋转轴上，能够绕旋转轴旋转，所述第二压印板用于吸附固定第二工作模具；

所述第三压印板包括上表面设置的真空槽，所述真空槽槽内设有真空孔，所述真空槽外侧设有工作模具定位槽；所述第三压印板还包括用于移动第一工作模具的前后移动块、左右移动块、升降杆、电机、旋转块、旋转电机，所述前后移动块用于带动第一工作模具前后移动，所述左右移动块用于带动第一工作模具左右移动，所述升降杆和电机用于带动第一工作模具上下移动，所述旋转块，旋转电机用于带动第一工作模具旋转；

对位单元位于两个导轨之间，对位单元包括电机、伸缩杆、固定块、对位组件，电机带动伸缩杆伸长或缩短，从而带动对位组件上下移动，所述固定块连接伸缩杆和对位组件；

第一次对位时，电机使伸缩杆伸长，带动吸附固定板向下运动，运动到某一位置，此位置第一工作模具中心的纳米压印胶未与基片接触；对位单元的电机使伸缩杆伸长带动对位组件移动至透明区的正上方，对位组件观察对位标记和的相对位置，将信息处理后反馈给第三压印板，前后移动块可带动第一工作模具前后移动，左右移动块可带动第一工作模具左右移动，旋转电机带动旋转块旋转，从而带动第一工作模具旋转；最终第一工作模具的对位标记和基片的对位标记在竖直方向上对准，对位完成后，对准单元回到原点位；

第二次对位时，翻转固定板绕旋转轴旋转，翻转固定板翻转至第三压印板的而上方，第二工作模具的纳米结构面朝下，工作模具定位槽外侧，远离旋转轴一侧设有缓冲固定块，缓冲固定块为电磁铁，当翻转固定板绕旋转轴旋转至第三压印板的上方时，通电通过磁力固定翻转固定板，电机使升降杆伸长，从而带动第一工作模具和基片向上移动到某一位置，此位置第二工作模具未与基片中心的纳米压印胶接触，对位单元的电机使伸缩杆伸长带动对位组件移动至透明区的正上方，对位组件观察对位标记和的相对位置，将信息处理后反馈给第三压印板，前后移动块可带动第一工作模具前后移动，左右移动块可带动第一工作模具左右移动，旋转电机带动旋转块旋转，从而带动第一工作模具旋转，最终第一工作模具、第二工作模具的对位标记和基片的对位标记在竖直方向上对准，对位完成后，对准单元回到原点位。

2.根据权利要求1所述的具有双面压印功能的纳米压印设备，其特征在于：所述曝光单元包括紫外灯、固定块、升降杆、电机，所述紫外灯位于第三压印板的透明区正下方，所述紫外灯发出的紫外光能够透过所述第三压印板中间的透明区域，以及基片和工作模具；所述固定块连接紫外灯和升降杆，所述电机推动升降杆伸缩从而带动所述紫外灯上下移动。