[发明专利]OLED显示面板、及其像素电路基板和加工方法在审
申请号: | 202111314222.7 | 申请日: | 2021-11-08 |
公开(公告)号: | CN114023913A | 公开(公告)日: | 2022-02-08 |
发明(设计)人: | 王旭;李子华;张瑞卿;王强;王旭东;金文强;徐国芳;景国栋;郭强;蔡璐;徐东;李春波;刘乐 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/56;H01L27/32 |
代理公司: | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人: | 崔家源;范继晨 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | oled 显示 面板 及其 像素 路基 加工 方法 | ||
本公开实施例提供了一种OLED显示面板、及其像素电路基板和加工方法,像素电路基板至少包括:多个像素结构,相邻像素结构的阳极区域通过预定分割区域分割,预定分割区域内的预定位置设置有凸起结构,预定位置的宽度小于或等于阳极层的刻蚀区域的宽度,预定位置的长度大于或等于阳极层的刻蚀区域的长度。本公开实施例的将原有预定分割区域内设置了一个凸起结构,在设置阳极层和PR胶层时,原有处于平面的阳极层和PR胶层被凸起结构支撑起,原有PR胶层的厚度被凸起结构占据一部分,导致预定分割区域内的PR胶层变薄,因此在进行曝光显影时,能够将PR胶完全洗掉,进而在刻蚀阳极层时,阳极层能够被完全刻蚀掉,不会再出现阳极残留问题。
技术领域
本公开涉及显示领域,特别涉及一种OLED显示面板、及其像素电路基板和加工方法。
背景技术
在目前OLED产品生产过程中,在制作Anode Mask(阳极模板)时,由于PLN孔(平坦层孔,在平坦层上设置的)周围处会出现PR胶堆叠的情况,此处PR胶较厚,不容易曝开,导致后续刻蚀过程中PLN过孔位置的阳极无法完全刻蚀掉,发生Anode Remain(残留),进而引起片状发亮不良。
发明内容
有鉴于此,本公开实施例提出了一种OLED显示面板、及其像素电路基板和加工方法,用以解决现有技术的如下问题:在制作Anode Mask时,由于PLN孔周围处PR胶堆叠导致后续刻蚀过程中PLN过孔位置的阳极无法完全刻蚀掉,发生Anode Remain(残留),进而引起片状发亮不良。
一方面,本公开实施例提出了一种OLED显示面板的像素电路基板,至少包括:多个像素结构,相邻像素结构的阳极区域通过预定分割区域分割,所述预定分割区域分割内的预定位置设置有凸起结构,所述预定位置的宽度小于或等于阳极层的刻蚀区域的宽度,所述预定位置的长度大于或等于阳极层的刻蚀区域的长度。
在一些实施例中,所述凸起结构设置宽度等于所述预定位置的宽度。
在一些实施例中,所述凸起结构的材料为非金属材料。
在一些实施例中,所述凸起结构的材料包括以下之一:氮化硅,氧化硅。
在一些实施例中,所述凸起结构的剖面形状至少包括以下之一:半圆形、梯形、方形、三角形。
另一方面,本公开实施例提出了一种OLED显示面板,至少包括:本公开任一实施例所述的OLED显示面板的像素电路基板。
另一方面,本公开实施例提出了一种OLED显示面板的像素电路基板的加工方法,用于加工本公开任一实施例所述的OLED显示面板的像素电路基板,包括:在第一平坦层的预定位置上设置凸起结构,其中,所述预定位置设置在相邻像素结构的阳极区域的预定分割区域中,所述预定位置的宽度小于或等于阳极层的刻蚀区域的宽度,所述预定位置的长度大于或等于阳极层的刻蚀区域的长度;在所述第一平坦层和所述凸起结构上设置阳极层;在所述阳极层上涂覆PR胶层;对PR胶层进行曝光显影处理,以去掉所述预定分割区域内的PR胶层;对显影处理后所述预定分割区域内露出的阳极层进行刻蚀处理,以得到具有凸起结构的所述预定分割区域;对具有所述凸起结构的所述预定分割区域的基板进行PR胶剥离处理,以得到具有裸露的阳极层的像素电路基板。
在一些实施例中,所述得到具有裸露的阳极层的像素电路基板之后,还包括:在所述像素电路基板上涂布第二平坦层。
在一些实施例中,所述对PR胶层进行曝光显影处理,包括:按照预定图案模板对所述PR胶层进行曝光处理;对曝光处理后的所述PR胶层进行显影处理。
在一些实施例中,所述在第一平坦层的预定位置上设置凸起结构,包括:设置所述凸起结构的宽度等于所述预定位置的宽度。
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