[发明专利]在玻璃基材上镀金属膜的方法和复合部件有效
申请号: | 202111310349.1 | 申请日: | 2021-11-04 |
公开(公告)号: | CN113880455B | 公开(公告)日: | 2023-03-28 |
发明(设计)人: | 杨鹏 | 申请(专利权)人: | 万津实业(赤壁)有限公司 |
主分类号: | C03C17/36 | 分类号: | C03C17/36;C03C17/245;C03C17/09 |
代理公司: | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 黎金娣 |
地址: | 437300 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃 基材 镀金 方法 复合 部件 | ||
本发明涉及一种在玻璃基材上镀金属膜的方法和复合部件。该方法包括:在玻璃基材上沉积包含间隔分布的碳颗粒的碳膜;在碳颗粒之间的间隙中沉积第一金属膜;对碳膜进行氧化,得到碳氧化物气体,并对第一金属膜进行氧化,得到第一金属氧化物;去除碳氧化物气体,制得具有凹凸不平表面的金属氧化物膜层;在具有有凹凸不平表面的金属氧化物膜层上沉积第二金属膜,第二金属膜覆盖在在氧化物膜层的表面上,并填充上述凹凸不平结构,形成镶嵌结构。该方法显著增加了金属膜和玻璃基材的结合力,解决了脱膜问题,同时不影响产品的光泽度,另外,操作简单,适合工业化应用,前景广阔。
技术领域
本发明涉及玻璃镀膜技术领域,特别是涉及一种在玻璃基材上镀金属膜的方法和复合部件。
背景技术
在玻璃表面镀金属膜很容易出现膜基结合力不好导致针孔、脱膜等不良现象。
针对此问题,目前已报道对玻璃基材表面进行喷砂处理,增加玻璃表面的粗糙度,提高膜层结合力的技术方案,这种方法虽可增加金属膜层的结合力,但是改变了玻璃表面的光泽度,只能运用于对玻璃光泽度要求不高的领域。而对于光泽度要求很高的领域,通常是通过提高玻璃表面的洁净度来实现,但与此同时,玻璃基材和金属膜之间的结合力无法实现高度提升。
发明内容
基于此,本发明的目的在于提供一种能够提高玻璃基材和金属膜结合力的方案。
技术方案如下:
一种在玻璃基材上镀金属膜的方法,包括如下步骤:
在玻璃基材上沉积碳膜,所述碳膜包含间隔分布的碳颗粒;
在所述碳颗粒之间的间隙中沉积第一金属膜;
对所述碳膜进行氧化,得到碳氧化物气体,并对所述第一金属膜进行氧化,得到第一金属氧化物;
去除所述碳氧化物气体,制得具有凹凸不平表面的金属氧化物膜层;
在所述具有有凹凸不平表面的金属氧化物膜层上沉积第二金属膜,所述第二金属膜覆盖在在所述氧化物膜层的表面上并填充上述凹凸不平结构,形成镶嵌结构。
在其中一个实施例中,在所述具有凹凸不平表面的金属氧化物膜层中,其凹槽部分占所述金属氧化物膜层的体积百分比为10%~60%。
在其中一个实施例中,所述碳膜的厚度为X nm,0<X≤3;
所述第一金属膜的厚度为Y nm,0<Y≤3,且Y≤X。
在其中一个实施例中,所述第二金属膜的厚度为5nm~1000nm。
在其中一个实施例中,所述第二金属膜中的金属选自铌、钛、钽和铝中的至少一种。
在其中一个实施例中,所述第一金属膜中的金属选自铌、钛、钽和铝中的至少一种。
在其中一个实施例中,所述第一金属膜中的金属和所述第二金属膜中的金属种类相同。
在其中一个实施例中,所述金属氧化物膜层中包含的金属氧化物分别独立地选自五氧化二铌、二氧化钛、五氧化二钽和三氧化二铝中的至少一种。
在其中一个实施例中,沉积所述碳膜、第一金属膜和第二金属膜的方式分别独立选自磁控溅射或蒸镀。
在其中一个实施例中,在所述玻璃基材上沉积所述碳膜之前,还包括在所述玻璃基材上沉积金属氧化物辅助薄膜的操作。
在其中一个实施例中,所述金属氧化物辅助薄膜中的金属氧化物选自铌的氧化物、钛的氧化物、钽的氧化物和铝的氧化物中的至少一种。
在其中一个实施例中,所述金属氧化物辅助薄膜中的金属氧化物和所述第一金属氧化物的种类相同。
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