[发明专利]电子装置及其制造方法在审

专利信息
申请号: 202111304713.3 申请日: 2021-11-05
公开(公告)号: CN114023772A 公开(公告)日: 2022-02-08
发明(设计)人: 苏群皓;张家铭;戴嘉文;游江津;林岱佐;林俊男 申请(专利权)人: 友达光电股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台湾新竹*** 国省代码: 台湾;71
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 电子 装置 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种电子装置,包括:

阵列基板,包括:

基材,具有基材表面;

第一导电层,位于所述基材表面上;

第一绝缘层,位于所述第一导电层上;

第二导电层,位于所述第一绝缘层上且包括第一溅镀层、第二溅镀层及第三溅镀层;以及

第二绝缘层,位于所述第二导电层上,其中:

所述第二溅镀层位于所述第一溅镀层与所述第三溅镀层之间;

所述第二溅镀层包括第一金属元素;

所述第一溅镀层包括所述第一金属元素与第二金属元素;且

所述第三溅镀层包括所述第一金属元素与第三金属元素。

2.如权利要求1所述的电子装置,其中:

所述第一溅镀层包括所述第一金属元素与所述第二金属元素的合金;

所述第二溅镀层不包括所述第二金属元素或所述第三金属元素;且/或所述第三溅镀层包括所述第一金属元素与所述第三金属元素的合金。

3.如权利要求2所述的电子装置,其中所述阵列基板还包括半导体层,且所述基材包括主动区及非主动区,其中:

在对应于所述非主动区的范围内,至少部分的所述第二导电层构成连接垫;且

在对应于所述主动区的范围内,至少部分的所述第一导电层、部分的所述半导体层及部分的所述第二导电层构成主动元件。

4.如权利要求3所述的电子装置,其中在对应于所述非主动区的范围内,部分的所述第二导电层嵌入所述第一绝缘层,以构成电连接至部分的所述第一导电层的导通结构。

5.如权利要求1所述的电子装置,其中所述第一导电层的厚度或所述第二导电层的厚度介于500nm至1500nm。

6.如权利要求1所述的电子装置,还包括:

电子元件,包括元件本体及配置于所述元件本体上的导电端子;以及

导电连接结构,直接连接所述导电端子及所述第二导电层。

7.如权利要求6所述的电子装置,其中所述导电连接结构还直接连接所述第一导电层。

8.如权利要求6所述的电子装置,其中在垂直于所述基材表面的方向上,所述导电连接结构包括第一区及第二区,其中:

所述第一区较所述第二区接近所述基材表面;

所述导电端子包括第四金属元素;

在所述第一区中,所述第一金属元素对所述第四金属元素具有第一比值;

在所述第二区中,所述第一金属元素对所述第四金属元素具有第二比值;且

所述第一比值大于所述第二比值。

9.如权利要求8所述的电子装置,其中所述第一金属元素对所述第四金属元素的比值从所述第一区向所述第二区逐渐递减。

10.一种电子装置的制作方法,包括:

提供阵列基板,所述阵列基板包括:

基材,具有基材表面;

第一导电层,位于所述基材表面上;

第一绝缘层,位于所述第一导电层上;

第二导电层,位于所述第一绝缘层上且包括第一溅镀层、第二溅镀层及第三溅镀层;以及

第二绝缘层,位于所述第二导电层上,其中:

所述第二溅镀层位于所述第一溅镀层与所述第三溅镀层之间;

所述第二溅镀层包括第一金属元素;

所述第一溅镀层包括所述第一金属元素与第二金属元素;且

所述第三溅镀层包括所述第一金属元素与第三金属元素;

提供电子元件,其包括元件本体及配置于所述元件本体上的导电端子;以及

至少使所述阵列基板与所述电子元件相接触,以使所述阵列基板中至少部分的所述第二导电层及所述电子元件中部分的所述导电端子形成导电连接结构。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于友达光电股份有限公司,未经友达光电股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111304713.3/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top