[发明专利]一种掩模板、显示面板以及制作方法有效
| 申请号: | 202111283309.2 | 申请日: | 2021-11-01 |
| 公开(公告)号: | CN114122230B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
| 发明(设计)人: | 段淼 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;H01L33/46 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 熊恒定 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 模板 显示 面板 以及 制作方法 | ||
本申请提供一种掩模板、显示面板以及制作方法;该掩模板的掩模主体包括多个功能单元区,各功能单元区包括第一区域、第二区域以及第三区域,第二区域包括开孔子区和与开孔子区相邻的阻挡子区,掩模主体在功能单元区内包括第一阻挡部、第二阻挡部、以及第三阻挡部,分别对应设置在第一区域、第二区域的阻挡子区、以及第三区域,且第二阻挡部分别与第一阻挡部和第三阻挡部连接。该掩模板采用半环形镂空区设计,确保掩模板上对应的像素区上方金属有足够的支撑强度,且可以直接在黑色挡墙上蒸镀图案化的金属层,工艺简单且降低光罩成本,解决了当前通过光刻工艺制备金属Bank存在的制备难度大的技术问题。
技术领域
本申请涉及显示技术领域,尤其涉及一种掩模板、显示面板以及制作方法。
背景技术
QD(量子点)-miniLED/microLED是一种miniLED/microLED结合量子点进行光色转换的新型显示技术。这种技术主要以蓝光miniLED/microLED作为背光,利用高能量的蓝光激发红量子点或绿量子点产生相应的红光或绿光,从而实现色转换。这种量子点彩膜技术需要将量子点墨水通过喷墨打印等方式沉积在像素限定区内,由于量子点墨水具有流动性,故需要制作黑色挡墙(Bank)结构将墨水限制在目标区域内。
当前使用黑色挡墙Bank材料作为像素限定层,由于其能够完全吸收量子点的激发光,因此会造成较大的亮度损失;可以通过在Bank上蒸镀一层金属(如银Ag等)形成金属镜面反射膜层(下文称这种结构为金属Bank),以大幅度提高出光效率。
当前制作这种图案化的金属Bank需要使用到光刻工艺,由于Bank膜厚很高(10um以上),所以在这种高低差异很大的地形上进行光刻工艺难度很大。
因此,当前通过光刻工艺制备金属Bank存在制备难度大等技术问题,需要改进。
发明内容
本申请提供一种掩模板、显示面板以及制作方法,以缓解当前通过光刻工艺制备金属Bank存在的制备难度大的技术问题。
为解决上述问题,本申请提供的技术方案如下:
本申请提供一种掩模板,包括掩模主体,所述掩模主体包括多个功能单元区,所述功能单元区包括第一区域、围绕所述第一区域的第二区域、以及围绕所述第二区域的第三区域;所述第二区域至少包括连续的开孔子区和与所述开孔子区相邻的阻挡子区;所述掩模主体在所述功能单元区内包括:
第一阻挡部:对应所述第一区域设置;
第三阻挡部:对应所述第三区域设置;
第二阻挡部:对应所述第二区域的阻挡子区设置,且分别与所述第一阻挡部和所述第三阻挡部连接。
在本申请的实施例中,所述阻挡子区占所述第二区域的面积比值小于50%、且大于30%。
在本申请的实施例中,所述开孔子区的数量为1个,且所述开孔子区占所述第二区域的面积比值大于50%。
在本申请的实施例中,所述开孔子区的形状为U型,且所述开孔子区邻接所述第一区域的三边。
在本申请的实施例中,呈U型的所述开孔子区的相对两侧边中,其中一侧边的长度大于另一侧边的长度。
在本申请的实施例中,所述开孔子区的形状为L型,且所述开孔子区邻接所述第一区域的两边。
在本申请的实施例中,呈L型的所述开孔子区的长边长度与所述第二区域的长度相等。
本申请还提供一种显示面板,包括至少一透光功能层,所述透光功能层包括多个透光区,所述透光功能层包括:
黑色挡墙,设置于各所述透光区之间;
反射层,设置于所述黑色挡墙的侧壁上,且位于各所述透光区之间;
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