[发明专利]一种掩模板、显示面板以及制作方法有效
| 申请号: | 202111283309.2 | 申请日: | 2021-11-01 |
| 公开(公告)号: | CN114122230B | 公开(公告)日: | 2023-08-22 |
| 发明(设计)人: | 段淼 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | H01L33/50 | 分类号: | H01L33/50;H01L33/46 |
| 代理公司: | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人: | 熊恒定 |
| 地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 模板 显示 面板 以及 制作方法 | ||
1.一种掩模板,其特征在于,包括掩模主体,所述掩模主体包括多个功能单元区,所述功能单元区包括第一区域、围绕所述第一区域的第二区域、以及围绕所述第二区域的第三区域;所述第二区域至少包括连续的开孔子区和与所述开孔子区相邻的阻挡子区;所述掩模主体在所述功能单元区内包括:
第一阻挡部:对应所述第一区域设置;
第三阻挡部:对应所述第三区域设置;
第二阻挡部:对应所述第二区域的阻挡子区设置,且分别与所述第一阻挡部和所述第三阻挡部连接。
2.如权利要求1所述的掩模板,其特征在于,所述阻挡子区占所述第二区域的面积比值小于50%、且大于30%。
3.如权利要求1所述的掩模板,其特征在于,所述开孔子区的数量为1个,且所述开孔子区占所述第二区域的面积比值大于50%。
4.如权利要求3所述的掩模板,其特征在于,所述开孔子区的形状为U型,且所述开孔子区邻接所述第一区域的三边。
5.如权利要求4所述的掩模板,其特征在于,呈U型的所述开孔子区的相对两侧边中,其中一侧边的长度大于另一侧边的长度。
6.如权利要求3所述的掩模板,其特征在于,所述开孔子区的形状为L型,且所述开孔子区邻接所述第一区域的两边。
7.如权利要求6所述的掩模板,其特征在于,呈L型的所述开孔子区的长边长度与所述第二区域的长度相等。
8.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括提供一透光功能层的步骤,所述透光功能层包括多个透光区,其中,所述提供一透光功能层的步骤包括:
提供一基板,在所述基板上形成位于各所述透光区之间的黑色挡墙;
使用掩模板在所述黑色挡墙的侧壁上形成位于各所述透光区之间的反射层;所述掩模板包括如权利要求1至7任一项所述的掩模板;
在所述透光区内形成出光层。
9.如权利要求8所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述反射层包括第一部分反射层和第二部分反射层,所述使用掩模板在所述黑色挡墙的侧壁上形成反射层的步骤,包括:
使用所述掩模板在所述掩模板的所述开孔子区内蒸镀形成于所述黑色挡墙侧壁的第一部分反射层;
旋转所述掩模板,以使所述第一部分反射层在垂直于所述掩模板方向上的投影覆盖所述阻挡子区;
使用所述掩模板在所述掩模板的所述开孔子区内蒸镀形成于所述黑色挡墙的侧壁的第二部分反射层,以形成所述反射层。
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