[发明专利]一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合系统

权利要求书

1.一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合系统，其特征在于，包括螺杆真空泵(10)、液环真空泵(11)、液环泵进气单向阀(12)、螺杆泵进气单向阀(13)、进气两位三通气动阀(14)、螺杆泵进气关断阀(15)、螺杆泵排气单向阀(16)、尾气混合喷射器(17)、汽液分离器(18)、循环泵(19)以及压力变送器(20)；

所述螺杆泵进气关断阀(15)的进气端与工艺气体进气口通过第一管路(31)连通，所述螺杆泵进气关断阀(15)的出气端与螺杆真空泵(10)的进气口通过第二管路(32)连通，所述螺杆真空泵(10)的出气端与尾气混合喷射器(17)的入口端通过第三管路(33)连通，所述第二管路(32)上装设有螺杆泵进气单向阀(13)，所述第三管路(33)上装设有螺杆泵排气单向阀(16)；

所述液环真空泵(11)的入口端与工艺气体进气口通过第四管路(34)连通，所述第四管路(34)的进气端至出气端依次设有进气两位三通气动阀(14)和液环泵进气单向阀(12)，所述液环真空泵(11)的出口端与尾气混合喷射器(17)的入口端通过第五管路(35)连通，所述进气两位三通气动阀(14)的第一进气端与工艺气体进气口连接，所述进气两位三通气动阀(14)的第二进气端与第三管路(33)连通，且进气两位三通气动阀(14)与第三管路(33)的连接点位于螺杆真空泵(10)的出口端与螺杆泵排气单向阀(16)之间；

所述汽液分离器(18)的气液入口端与尾气混合喷射器(17)的气液出口端连通，所述汽液分离器(18)的冷却液出液端、螺杆真空泵(10)的冷却液入口端、螺杆真空泵(10)的冷却液出口端、液环真空泵(11)的进液端通过冷却管路(36)连通，所述冷却管路(36)上装设有循环泵(19)；

所述第一管路(31)与第四管路(34)连通，所述压力变送器(20)设于第四管路(34)上；

其中，当压力变送器(20)的实时压力大于预设值时，所述进气两位三通气动阀(14)切换至其第一进气口与其出气口连通，其第二进气口与其出气口关闭，此时，液环真空泵(11)与螺杆真空泵(10)并联；当压力变送器(20)的实时压力值小于等于预设值时，所述进气两位三通气动阀(14)切换至其第二进气口与其出气口连通，其第一进气口与其出气口关闭，此时液环真空泵(11)与螺杆真空泵(10)串联。

2.根据权利要求1所述的一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合系统，其特征在于，所述汽液分离器(18)内置有换热器。

3.根据权利要求1所述的一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合系统，其特征在于，所述汽液分离器(18)具有冷却水进口和冷却水出口，所述冷却水进口与换热器的进液端连通，所述冷却水出口与换热器的排液端连通。

4.根据权利要求1所述的一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合系统，其特征在于，所述汽液分离器(18)上装设有温度变送器(21)。

5.根据权利要求1所述的一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合系统，其特征在于，所述汽液分离器(18)上装设有液位变送器(22)。

6.根据权利要求1所述的一种螺杆真空泵与液环真空泵串并联组合系统，其特征在于，所述尾气混合喷射器(17)为水喷射器。