[发明专利]步进光刻的控制方法、装置、设备及存储介质

说明书

本发明实施例公开了一种步进光刻的控制方法、装置、设备及存储介质。该步进光刻的控制方法包括：获取光刻设备一次步进后的实际移动距离；根据实际移动距离和预设步进步长确定一次步进的步进误差；基于步进误差对光斑图像进行调整，以补偿步进误差产生的曝光图像误差。本方案通过调整光斑图像投影的具体位置，从而在保证光斑图像位置的准确性的基础上，实现在待光刻件上曝光图像不会产生缝隙或重叠的部分，实现曝光图像的连续性，提高曝光图像的精确度。

技术领域

本发明实施例涉及光刻技术领域，尤其涉及一种步进光刻的控制方法、装置、设备及存储介质。

背景技术

步进运动是将光斑从一个预设位置移动至另一个预设位置，通常需要光斑准确的运动到预设位置上。现有步进光刻设备的工作方式为：利用光栅尺读取运动系统的位置，当光栅尺读取到运动系统接近预设位置时，控制运动系统的电机减速刹车，在电机停止时使运动系统停在预设位置上。但是由于运动系统的精度误差Δx，运动系统停止的位置会是距离预设位置±Δx的范围内。因此会导致曝光图像的步进偏差，若是步进多了则会在两个预设位置之间产生缝隙，步进少了会使两个位置之间发生重叠，无法保证步进前后光斑在目标表面投影图像的连续性。

发明内容

本发明实施例提供一种步进光刻的控制方法、装置、设备及存储介质，以实现曝光图像的连续性，提高曝光图像的精确度。

第一方面，本发明实施例提供了一种步进光刻的控制方法包括：

获取光刻设备一次步进后的实际移动距离；

根据实际移动距离和预设步进步长确定一次步进的步进误差；

基于步进误差对光斑图像进行调整，以补偿步进误差产生的曝光图像误差。

可选地，基于步进误差对光斑图像进行调整包括：

步进误差表示一次步进大于预设步进步长的时候，在步进方向以步进误差的宽度增大曝光图像，并向步进反向位移增大后的曝光图像步进误差的距离以补偿步进误差产生的曝光图像误差。

可选地，基于步进误差对光斑图像进行调整还包括：

步进误差表示一次步进小于预设步进步长的时候，在步进反向以步进误差的宽度减小曝光图像，并向步进方向位移减小后的曝光图像步进误差的距离以补偿步进误差产生的曝光图像误差。

可选地，获取光刻设备一次步进后的实际移动距离，包括：

根据预设步进步长，控制光刻设备沿步进方向移动；

根据定位装置的移动确定光刻设备移动的实际移动距离。

可选地，在获取光刻设备一次步进后的实际移动距离之前，包括：

根据光刻设备的移动精度，设置光刻设备投影的光斑图像的参数；和或根据光斑图像的参数对待曝光图像分图。

可选地，光刻设备投影的光斑图像的参数包括：光斑图像的投影长度和光斑图像的投影宽度；

其中，光斑图像的投影长度小于等于光刻设备的最大投影长度减去2倍的光刻设备的移动精度；光斑图像的投影宽度等于光刻设备的最大投影宽度。

可选地，根据光斑图像的参数对待曝光图像分图，包括：

依据光斑图像的投影长度和光刻设备的移动精度将曝光图像分为多个条带图像，每个条带图像包括位于中间的投影区域和两侧的补偿区域；

投影区域的宽度等于光斑图像的投影长度，补偿区域的宽度大于光刻设备的移动精度。

可选地，相邻条带的投影区域不重叠设置，相邻条带的补偿区域与相邻条带的投影区域重叠设置，相邻补偿区域的总长度大于等于2倍的光刻设备的移动精度，小于等于2倍的光斑图像的投影长度。