[发明专利]步进光刻的控制方法、装置、设备及存储介质

权利要求书

1.一种步进光刻的控制方法，其特征在于，包括：

获取光刻设备一次步进后的实际移动距离；

根据所述实际移动距离和预设步进步长确定一次步进的步进误差；

基于所述步进误差对光斑图像进行调整，以补偿所述步进误差产生的曝光图像误差。

2.根据权利要求1所述的步进光刻的控制方法，其特征在于，基于所述步进误差对光斑图像进行调整包括：

所述步进误差表示一次步进大于所述预设步进步长的时候，在步进方向以所述步进误差的宽度增大所述曝光图像，并向步进反向位移增大后的曝光图像所述步进误差的距离以补偿所述步进误差产生的曝光图像误差。

3.根据权利要求1所述的步进光刻的控制方法，其特征在于，基于所述步进误差对光斑图像进行调整还包括：

所述步进误差表示一次步进小于所述预设步进步长的时候，在步进反向以所述步进误差的宽度减小所述曝光图像，并向步进方向位移减小后的曝光图像所述步进误差的距离以补偿所述步进误差产生的曝光图像误差。

4.根据权利要求1所述的步进光刻的控制方法，其特征在于，获取光刻设备一次步进后的实际移动距离，包括：

根据预设步进步长，控制光刻设备沿步进方向移动；

根据定位装置的移动确定所述光刻设备移动的实际移动距离。

5.根据权利要求1所述的步进光刻的控制方法，其特征在于，在获取光刻设备一次步进后的实际移动距离之前，包括：

根据光刻设备的移动精度，设置所述光刻设备投影的所述光斑图像的参数；和或

根据所述光斑图像的参数对待曝光图像分图。

6.根据权利要求5所述的步进光刻的控制方法，其特征在于，所述光刻设备投影的光斑图像的参数包括：所述光斑图像的投影长度和所述光斑图像的投影宽度；

其中，所述光斑图像的投影长度小于等于所述光刻设备的最大投影长度减去2倍的所述光刻设备的移动精度；所述光斑图像的投影宽度等于所述光刻设备的最大投影宽度。

7.根据权利要求6所述的步进光刻的控制方法，其特征在于，所述根据所述光斑图像的参数对所述待曝光图像分图，包括：

依据所述光斑图像的投影长度和所述光刻设备的移动精度将曝光图像分为多个条带图像，每个条带图像包括位于中间的投影区域和两侧的补偿区域；

投影区域的宽度等于所述光斑图像的投影长度，补偿区域的宽度大于所述光刻设备的移动精度。

8.根据权利要求7所述的步进光刻的控制方法，其特征在于，相邻条带的投影区域不重叠设置，相邻条带的补偿区域与相邻条带的投影区域重叠设置，相邻补偿区域的总长度大于等于2倍的所述光刻设备的移动精度，小于等于2倍的所述光斑图像的投影长度。

9.一种步进光刻的控制装置，其特征在于，包括：

位置确定装置，用于获取光刻设备一次步进后的实际移动距离；

误差确定装置，根据所述实际移动距离和预设步进步长确定一次步进的步进误差；

光斑调整装置，基于所述步进误差对光斑图像进行调整，以补偿所述步进误差产生的曝光图像误差。

10.一种步进光刻的控制设备，其特征在于，所述步进光刻的控制设备包括：

一个或多个处理器；

当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现如权利要求1-8中任一所述的步进光刻的控制方法。

11.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1-8任一所述的步进光刻的控制方法。