[发明专利]一种探测器线性度标定方法

说明书

本发明公开了一种探测器线性度标定方法，该方法用于探测器线性度标定中。利用多个透过率已知且相同的衰减片做光源能量衰减器，通过插入不同数量的衰减片，获得不同的衰减倍率，在不同衰减倍率下采集探测器的数值，绘制衰减倍率和探测器数值曲线，再进行最小二乘法拟合，得到探测器线性度。

技术领域

本发明涉及探测器性能测试的技术领域，具体涉及一种探测器线性度标定方法。

背景技术

探测器件包括激光能量计、功率计、光电二极管等，在各个领域的测量中广泛应用，而探测器件的响应线性度是其非常重要的一项指标，线性度标定的准确性具有非常重要的意义，关系到探测器件在实际应用中测量指标的准确性。但由于没有绝对准确的计量器具对探测器响应线性度进行标定，因此本发明一种探测器线性度标定方法，利用衰减片组作为衰减器，获得不同衰减倍率，从而在已知衰减倍率情况下得到探测器的响应值，进而通过线性拟合得到探测器的响应线性度，测量方法简单实用。

发明内容

本发明的目的是设计一种探测器线性度标定方法，通过该方法标定得到探测器响应线性度，用于衡量探测器性能，提高探测器使用过程中的测量准确性。

本发明采用的技术方案为：一种探测器线性度标定方法，该方法用于探测器线性度标定中，利用多个透过率已知且相同的衰减片做光源能量衰减器，通过插入不同数量的衰减片，获得不同的衰减倍率，在不同衰减倍率下采集探测器的数值，绘制衰减倍率和探测器数值曲线，再进行最小二乘法拟合，得到探测器线性度。

进一步地，待标定的探测器可以是激光能量计、功率计、光电二极管。

进一步地，所述多个透过率已知且相同的衰减片可以是光学元件基片，为了保证基片具有相同透过率，要求基片为同一批次生产，相同厚度。

进一步地，探测器标定过程中，插入不同数量衰减片得到不同衰减倍率计算方法如下，单个衰减片透过率为T，则N个衰减片透过率为T^N，N的数值与探测器响应范围有关，例如探测器响应范围Imin～Imax，则T^N≤Imin/Imax。

进一步地，衰减片在插入光路时，为了减小衰减片之间多次反射对测量结果的影响，衰减片的入射角度大于零度，并且为了补偿光路，两个衰减片的入射角度互补。

进一步地，衰减片的入射角度和衰减片之间的距离保证入射至衰减片的光在衰减片之间不存在多次反射。

本发明与现有技术相比的优点在于：

(1)本发明探测器线性度标定方法简单，标定精度高。

(2)本发明的衰减片为光学基片，易于选取，成本低，性能稳定，使探测器线性度标定成本低、重复性高。

附图说明

图1为本发明的实施例中探测器线性度标定装置示意图，其中，1为光源，2为小孔光阑，3为衰减片组，4为待标定探测器；

图2为本发明的实施例中20个衰减片排列方式；

图3为本发明的实施例中绘制的衰减倍率与能量计数值曲线及线性拟合结果。

具体实施方式

以下将对本发明的一种探测器线性度标定方法做进一步的详细描述。

图1为本实施例中探测器线性度标定装置，由，待标定探测器4组成。小孔光阑2用于对入射光源光斑尺寸进行调节，设置在光源1和衰减片组3之间。

一种探测器线性度标定方法，该方法用于探测器线性度标定中，利用多个透过率已知且相同的衰减片组成衰减片组3做光源能量衰减器，通过插入不同数量的衰减片组成的衰减片组3，获得不同的衰减倍率，在不同衰减倍率下采集待标定探测器4的数值，绘制衰减倍率和待标定探测器4数值曲线，再进行最小二乘法拟合，得到待标定探测器4线性度。