[发明专利]一种探测器线性度标定方法在审
| 申请号： | 202111242209.5 | 申请日： | 2021-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN113945276A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | 刘卫静;廖志杰;何毅;谢强 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所;成都同力精密光电仪器制造有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 江亚平 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 探测器 线性 标定 方法 | ||
1.一种探测器线性度标定方法，该方法用于探测器线性度标定中，其特征在于：利用多个透过率已知且相同的衰减片做光源能量衰减器，通过插入不同数量的衰减片，获得不同的衰减倍率，在不同衰减倍率下采集探测器的数值，绘制衰减倍率和探测器数值曲线，再进行最小二乘法拟合，得到探测器线性度。
2.根据权利要求1所述的一种探测器线性度标定方法，其特征在于：所述的探测器可以是激光能量计、功率计、光电二极管。
3.根据权利要求1所述的一种探测器线性度标定方法，其特征在于：所述的多个透过率已知且相同的衰减片可以是光学元件基片，为了保证基片具有相同透过率，要求基片为同一批次生产，相同厚度。
4.根据权利要求1所述的一种探测器线性度标定方法，其特征在于：所述的插入不同数量衰减片得到不同衰减倍率计算方法如下，单个衰减片透过率为T，则N个衰减片透过率为TN，N的数值与探测器响应范围有关，探测器响应范围Imin～Imax，则TN≤Imin/Imax。
5.根据权利要求1所述的一种探测器线性度标定方法，其特征在于：衰减片在插入光路时，为了减小衰减片之间多次反射对测量结果的影响，衰减片的入射角度大于零度，并且为了补偿光路，两个衰减片的入射角度互补。
6.根据权利要求4所述的一种探测器线性度标定方法，其特征在于：所述衰减片的入射角度和衰减片之间的距离保证入射至衰减片的光在衰减片之间不存在多次反射。
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