[发明专利]图像传感器在审
申请号: | 202111208663.9 | 申请日: | 2021-10-18 |
公开(公告)号: | CN114447005A | 公开(公告)日: | 2022-05-06 |
发明(设计)人: | 朴仁用;金珉宽;赵寅成;金真亨;朴多美;尹基相 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 程丹辰 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图像传感器 | ||
1.一种图像传感器,包括:
第一衬底,包括聚焦像素区域和在所述聚焦像素区域周围的像素区域,所述聚焦像素区域和所述像素区域中的每个包括至少一个光电转换区域;
滤色器,分别提供在所述聚焦像素区域和所述像素区域上,并提供在所述第一衬底的第一表面上;以及
微透镜,分别提供在所述滤色器上,
其中所述微透镜包括:
在所述聚焦像素区域上的自动聚焦透镜;
与所述自动聚焦透镜相邻的第一微透镜;以及
与所述自动聚焦透镜间隔开的标准微透镜,
其中所述自动聚焦透镜具有第一高度,所述第一微透镜具有第二高度,所述标准微透镜具有第三高度,以及
其中所述第二高度与所述第三高度之间的差值小于所述第一高度与所述第三高度之间的差值。
2.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述第二高度大于所述第三高度,并且所述第二高度小于所述第一高度。
3.根据权利要求2所述的图像传感器,其中所述第二高度与所述第三高度之比在从1.1至1.4的范围内。
4.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述第一高度大于所述第三高度,以及
其中所述第二高度小于所述第三高度。
5.根据权利要求4所述的图像传感器,其中所述第二高度与所述第三高度之比在从0.5至0.9的范围内。
6.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述微透镜还包括在所述第一微透镜和所述标准微透镜之间的非标准微透镜,
其中所述非标准微透镜具有第四高度,以及
其中所述第四高度与所述第三高度之间的差值小于所述第二高度与所述第三高度之间的差值。
7.根据权利要求1所述的图像传感器,其中所述自动聚焦透镜的面积大于所述第一微透镜的面积并且大于所述标准微透镜的面积,以及
其中所述第一微透镜的所述面积不同于所述标准微透镜的所述面积。
8.根据权利要求1所述的图像传感器,还包括:
隔离图案,提供在所述第一衬底中以限定所述聚焦像素区域和所述像素区域;
晶体管,提供在所述第一衬底的第二表面上,所述第二表面与所述第一表面相对;
在所述第二表面上的第一互连层;
第二衬底;以及
在所述第二衬底上的第二互连层,
其中所述第一互连层和所述第二互连层垂直地堆叠并彼此电连接。
9.根据权利要求8所述的图像传感器,还包括:
穿透孔,穿透所述第一衬底并暴露所述第一互连层和所述第二互连层;以及
提供在所述穿透孔中的导电图案。
10.根据权利要求8所述的图像传感器,其中所述第一互连层包括第一连接焊盘,
其中所述第二互连层包括第二连接焊盘,以及
其中所述第一连接焊盘和所述第二连接焊盘彼此垂直地对准并彼此接触。
11.一种图像传感器,包括:
衬底,包括聚焦像素区域和在所述聚焦像素区域周围的像素区域,所述聚焦像素区域和所述像素区域中的每个包括至少一个光电转换区域;
滤色器,分别提供在所述聚焦像素区域和所述像素区域上;以及
微透镜,分别提供在所述滤色器上,
其中所述微透镜包括:
在所述聚焦像素区域上的自动聚焦透镜;
与所述自动聚焦透镜的第一边缘相邻的第一微透镜;
与所述自动聚焦透镜的第二边缘相邻的第二微透镜;以及
与所述自动聚焦透镜间隔开的标准微透镜,
其中所述自动聚焦透镜具有第一高度,所述第一微透镜具有第二高度,所述第二微透镜具有第三高度,所述标准微透镜具有第四高度,
其中所述第二高度大于所述第四高度并且小于所述第一高度,以及
其中所述第三高度小于所述第四高度。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的