[发明专利]一种晶体生长装置及方法

说明书

本说明书实施例提供一种晶体生长装置及方法，该装置包括：生长腔体，用于放置晶体生长的原料；加热组件，用于加热所述生长腔体，以提供晶体生长所需的热量；运动组件，所述运动组件包括旋转部件，所述旋转部件与所述生长腔体传动连接以带动所述生长腔体偏心旋转。

技术领域

本说明书涉及晶体制备技术领域，特别涉及一种晶体生长装置及方法。

背景技术

非一致熔融晶体、高温下组分易挥发的晶体或高温易相变的晶体，通常利用助熔剂法结合提拉法实现晶体生长。晶体生长过程需要通过缓慢降低温度进行结晶，而温度降低会增大熔体粘度，相应也会影响熔融原料中溶质的传质传热，造成晶体生长变缓，甚至在晶体内部出现助熔剂包裹物，降低了晶体质量。因此，有必要提供一种晶体生长装置及方法，改善溶质的传质传热行为，在保证晶体质量的同时生长尺寸较大的晶体。

发明内容

本说明书实施例之一提供一种晶体生长装置，所述晶体生长装置包括：生长腔体，用于放置晶体生长的原料；加热组件，用于加热所述生长腔体，以提供晶体生长所需的热量；运动组件，所述运动组件包括旋转部件，所述旋转部件与所述生长腔体传动连接以带动所述生长腔体偏心旋转。

本说明书实施例之一提供一种晶体生长方法，所述晶体生长方法包括：将晶体生长的原料置于生长腔体内；加热所述生长腔体，以提供所述晶体生长所需的热量；在所述晶体生长过程中，满足预设条件时，通过运动组件的旋转部件带动所述生长腔体偏心旋转。

附图说明

本说明书将以示例性实施例的方式进一步说明，这些示例性实施例将通过附图进行详细描述。这些实施例并非限制性的，在这些实施例中，相同的编号表示相同的结构，其中：

图1是根据本说明书一些实施例所示的示例性晶体生长装置的结构示意图；

图2是根据本说明书一些实施例所示的示例性旋转部件的结构示意图；

图3是根据本说明书一些实施例所示的偏心旋转过程的示意图；

图4是根据本说明书一些实施例所示的旋转轴与套筒可移动连接的示意图；

图5是根据本说明书一些实施例所示的示例性升降部件的结构示意图；

图6是根据本说明书一些实施例所示的晶体生长方法的示例性流程图。

图中，100为晶体生长装置，110为生长腔体，120为运动组件，121为旋转部件，121-1为旋转电机，121-2为第一传动元件，121-3为旋转杆，121-4为套筒，121-5为保温层，121-6为滑槽，122为升降部件，122-1为升降电机，122-2为第二传动元件，122-3为螺杆，122-4为环形凹槽圆盘，122-5为升降平台，122-6为升降导轨，130为加热组件，140为运动装置，150为炉膛，160为温场。

具体实施方式

为了更清楚地说明本说明书实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本说明书的一些示例或实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图将本说明书应用于其它类似情景。除非从语言环境中显而易见或另做说明，图中相同标号代表相同结构或操作。

应当理解，本文使用的“系统”、“装置”、“单元”和/或“模块”是用于区分不同级别的不同组件、元件、部件、部分或装配的一种方法。然而，如果其他词语可实现相同的目的，则可通过其他表达来替换所述词语。

如本说明书和权利要求书中所示，除非上下文明确提示例外情形，“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数，也可包括复数。一般说来，术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素，而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列，方法或者设备也可能包含其它的步骤或元素。