[发明专利]派工方法、派工系统及计算机可读存储介质

说明书

本发明提供了一种派工方法、派工系统及计算机可读存储介质，能为待加工的产品预先配置整体资源配置等级均不同的多条加工线路，且使得各条所述加工线路上设置的步骤节点及步骤顺序均相同，从第二步骤节点到倒数第二个步骤节点，整体资源配置等级高的加工线路上的每一个步骤节点处的资源配置等级均高于整体资源配置等级低的加工线路，当将所述待加工的产品送入其中一条加工线路进行加工后，每次在所述待加工的产品完成当前的加工线路上相应的步骤节点的加工时，均进行良率判断，由此进一步根据良率判断的结果，确定所述待加工的产品是否需要从当前的加工线路切换到其他具有相应的整体资源配置等级的加工线路上以执行下一个步骤节点的加工。

技术领域

本发明涉及集成电路制造技术领域，特别涉及一种派工方法、派工系统及计算机可读存储介质。

背景技术

随着半导体制作发展至超大规模集成电路(VLSI)，整个集成电路的制造过程变得更为复杂与困难，一个高集成度的集成电路产品的出货往往需要数百个制作步骤才可制造出来，而如此繁复的制造过程也增加了派工(Dispatching)分配时的复杂性。

因此，在集成电路制造厂的总资源是有限的前提下，如何拟定最佳化(Optimal)的派工原则，提高生产效率，成为半导体制造中极为重要的课题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种派工方法、派工系统及计算机可读存储介质，能够在集成电路制造厂的总资源投入相同的情况下，避免资源浪费，提高产品出货率。

为实现上述目的，本发明提供一种派工方法，其包括以下步骤；

为待加工的产品预先配置整体资源配置等级均不同的多条加工线路，各条所述加工线路上设置的步骤节点及步骤顺序均相同，且从第二步骤节点到倒数第二个步骤节点，整体资源配置等级高的加工线路上的每一个步骤节点处的资源配置等级均高于整体资源配置等级低的加工线路；

将所述待加工的产品送入其中一条加工线路进行加工，且在所述待加工的产品完成当前的加工线路上相应的步骤节点的加工后，均进行良率判断，并根据良率判断的结果，确定所述待加工的产品是否需要从当前的加工线路切换到其他的加工线路上以执行下一个步骤节点的加工。

可选地，所述待加工的产品为未经任何工艺加工的裸片，为所述待加工的产品预先配置的各条所述加工线路的第一个步骤节点的资源配置等级相同；将所述待加工的产品送入任意一条所述加工线路中，以对所述待加工的产品进行第一个步骤节点的加工；

或者，所述待加工的产品为预先经过相应的工艺加工后的产品，为所述待加工的产品预先配置的各条所述加工线路的第一个步骤节点的资源配置等级不同；将所述待加工的产品送入其中一条加工线路的步骤包括：先对所述待加工的产品进行良率判断，并根据良率判断的结果，将所述待加工的产品送入到相应的加工线路中，以执行具有相应的资源配置等级的第一个步骤节点的加工。

可选地，同一加工线路上的各个所述步骤节点所对应的预设良率标准按照步骤顺序逐渐降低，且同一所述步骤节点所对应的预设良率标准随着加工线路的整体资源配置等级的变高而变高。

可选地，当为所述待加工的产品预先配置的所述加工线路的数量不少于3条，且确定所述待加工的产品需要从当前的加工线路切换到其他具有相应的整体资源配置等级的加工线路上以执行下一个步骤节点的加工时，通过仅升降一级或者跳级升降的方式，将所述待加工的产品需要从当前的加工线路切换到其他具有相应的整体资源配置等级的加工线路上。

可选地，当为所述待加工的产品预先配置的所述加工线路的数量不少于3条时，各个所述步骤节点所对应的预设良率标准包括多个大小不同的良率阈值，在进行良率判断时，将所述待加工的产品当前的良率与各个良率阈值进行比较，并根据比较的结果，从所有的加工线路中确定所述待加工的产品执行下一个步骤节点的加工时所需的加工线路。

基于同一发明构思，本发明还提供一种派工系统，其包括：