[发明专利]派工方法、派工系统及计算机可读存储介质在审

专利信息
申请号: 202111200002.1 申请日: 2021-10-14
公开(公告)号: CN113887985A 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: 高冰玲 申请(专利权)人: 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司
主分类号: G06Q10/06 分类号: G06Q10/06;G06Q50/04
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 田婷
地址: 312000 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 方法 系统 计算机 可读 存储 介质
【权利要求书】:

1.一种派工方法,其特征在于,包括:

为待加工的产品预先配置整体资源配置等级均不同的多条加工线路,各条所述加工线路上设置的步骤节点及步骤顺序均相同,且从第二步骤节点到倒数第二个步骤节点,整体资源配置等级高的加工线路上的每一个步骤节点处的资源配置等级均高于整体资源配置等级低的加工线路;

将所述待加工的产品送入其中一条加工线路进行加工,且在所述待加工的产品完成当前的加工线路上相应的步骤节点的加工后,均进行良率判断,并根据良率判断的结果,确定所述待加工的产品是否需要从当前的加工线路切换到其他具有相应的整体资源配置等级的加工线路上,以执行下一个步骤节点的加工。

2.如权利要求1所述的派工方法,其特征在于,所述待加工的产品为未经任何工艺加工的裸片,为所述待加工的产品预先配置的各条所述加工线路的第一个步骤节点的资源配置等级相同;将所述待加工的产品送入任意一条所述加工线路中,以对所述待加工的产品进行第一个步骤节点的加工;

或者,所述待加工的产品为预先经过相应的工艺加工后的产品,为所述待加工的产品预先配置的各条所述加工线路的第一个步骤节点的资源配置等级不同;将所述待加工的产品送入其中一条加工线路的步骤包括:先对所述待加工的产品进行良率判断,并根据良率判断的结果,将所述待加工的产品送入到相应的加工线路中,以执行具有相应的资源配置等级的第一个步骤节点的加工。

3.如权利要求1所述的派工方法,其特征在于,同一加工线路上的各个所述步骤节点所对应的预设良率标准按照步骤顺序逐渐降低,且同一所述步骤节点所对应的预设良率标准随着加工线路的整体资源配置等级的变高而变高。

4.如权利要求1-3中任一项所述的派工方法,其特征在于,当为所述待加工的产品预先配置的所述加工线路的数量不少于3条,且确定所述待加工的产品需要从当前的加工线路切换到其他具有相应的整体资源配置等级的加工线路上以执行下一个步骤节点的加工时,通过仅升降一级或者跳级升降的方式,将所述待加工的产品需要从当前的加工线路切换到其他具有相应的整体资源配置等级的加工线路上。

5.如权利要求4所述的派工方法,其特征在于,当为所述待加工的产品预先配置的所述加工线路的数量不少于3条时,各个所述步骤节点所对应的预设良率标准包括多个大小不同的良率阈值,在进行良率判断时,将所述待加工的产品当前的良率与各个良率阈值进行比较,并根据比较的结果,从所有的加工线路中确定所述待加工的产品执行下一个步骤节点的加工时所需的加工线路。

6.一种派工系统,其特征在于,包括:

预配置模块,用于为待加工的产品预先配置整体资源配置等级均不同的多条加工线路,各条所述加工线路上设置的步骤节点及步骤顺序均相同,且从第二步骤节点到倒数第二个步骤节点,整体资源配置等级高的加工线路上的每一个步骤节点处的资源配置等级均高于整体资源配置等级低的加工线路;

线路调配模块,用于将所述待加工的产品送入其中一条加工线路进行加工,且在所述待加工的产品完成当前的加工线路上相应的步骤节点的加工后,均进行良率判断,并根据良率判断的结果,确定所述待加工的产品是否需要从当前的加工线路切换到其他的加工线路上以执行下一个步骤节点的加工。

7.如权利要求6所述的派工系统,其特征在于,所述待加工的产品为未经任何工艺加工的裸片,所述预配置模块为所述待加工的产品预先配置的各条所述加工线路的第一个步骤节点的资源配置等级相同,所述线路调配模块将所述待加工的产品送入任意一条所述加工线路中,以对所述待加工的产品进行第一个步骤节点的加工;或者,所述待加工的产品为预先经过相应的工艺加工后的产品,线路调配模块为所述待加工的产品预先配置的各条所述加工线路的第一个步骤节点的资源配置等级不同,所述线路调配模块用于先对所述待加工的产品进行良率判断,并根据良率判断的结果,将所述待加工的产品送入到相应的加工线路中,以执行具有相应的资源配置等级的第一个步骤节点的加工。

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