[发明专利]一种模具零件表面等离子处理装置有效
申请号: | 202111184020.5 | 申请日: | 2021-10-11 |
公开(公告)号: | CN113862607B | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 武新江 | 申请(专利权)人: | 昀昊精密模具五金(深圳)有限公司 |
主分类号: | C23C4/134 | 分类号: | C23C4/134;C23C4/06;C23C4/137 |
代理公司: | 深圳科润知识产权代理事务所(普通合伙) 44724 | 代理人: | 周晓菊 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 模具 零件 表面 等离子 处理 装置 | ||
1.一种模具零件表面等离子处理装置,其特征在于,包括
真空室,
真空室的下部具有一旋转台,该旋转台用于模具零件的放置,
在真空室的上方设置有等离子处理器,所述等离子处理器包括第一入口和第二入口,第一入口和第二入口分别连通混合腔,在混合腔的上部设置有电极组件,以及在混合腔的下部设置有喷嘴,通过第一入口将熔融合金材料压入混合腔,与从第二入口流入混合腔的高速流动的惰性气体相遇后在电极组件的作用下形成等离子雾状熔滴,将等离子雾状熔滴由喷嘴喷射至模具零件表面形成合金膜;
在形成所述合金膜时,基于模具零件表面镀膜要求,由控制装置控制流入混合腔内的熔融合金材料与惰性气体比例以及由控制装置控制电极组件功率驱动混合惰性气体的熔滴形成等离子体变化并雾状化,再由喷嘴喷射至模具零件表面形成合金膜;
所述等离子处理器包括:
具有喇叭状的喷嘴,与喷嘴一体设置的对接法兰,以及喷嘴的上部具有射流管,该射流管由对接法兰中部向外延伸,且射流管的延伸部分穿过下法兰与内管对接,所述内管的外部设置有外管套,所述内管和外管套的下部与下法兰固定,所述外管套与内管之间填充有多个环状隔热块,以及
所述内管和外管套的上部与上法兰固定;
电极阀座,固定在上法兰的上部,电极阀座上设置有电极组件,电极组件伸入电极阀座内的混合腔,以及在电极阀座上设置有第一入口和第二入口,第一入口和第二入口与混合腔连通;
所述对接法兰、下法兰以及上法兰通过固定件固定;
所述电极组件包括
电极体,电极体的上部具有与电源连接的线缆部;
电极体的下部具有阴极部,且阴极部外侧具有一绝缘套,
安装座,该安装座下部具有水平向外凸出的安装耳,安装耳通过螺丝与电极阀座固定;
安装座的内部为安装槽,绝缘套伸入安装槽固定,阴极部由绝缘套向下延伸至弧柱汇聚管,弧柱汇聚管作用是用于电极弧柱纠正,防止弧柱偏移,该弧柱汇聚管固定在电极阀座内的混合腔中,弧柱汇聚管的下部开口位于射流槽处,
在上法兰内位于射流槽外侧设置有阳极部,上法兰上还设置有阳极部的接线部;
所述阴极部、弧柱汇聚管、阳极部构成阳极-阴极系统;
通过第一入口将熔融合金材料压入混合腔,与从第二入口流入混合腔的高速流动的惰性气体在混合腔相遇后在阳极-阴极系统的作用下形成等离子雾状熔滴,由射流槽经内管、射流管至喷嘴,由喷嘴喷射至模具零件表面形成合金膜;
所述真空室的下部具有一隔离板,该隔离板将真空室的下部隔开形成一电气配置室,在电气配置室内设置有旋转电机,该旋转电机的电机轴穿过隔离板与设置在旋转台下部的连接部连接;
在模具零件表面形成合金膜时,通过控制装置控制电机的转动带动模具零件随旋转台匀速转动以辅助控制成膜;
所述弧柱汇聚管上部是圆筒状的对接管,下部是锥形管,对接管卡在混合腔上部的凸台上,并与绝缘套部分套接,锥形管处于混合腔中间并延伸至射流槽,所述阴极部在绝缘套和对接管套接后伸入至锥形管内。
2.根据权利要求1所述的模具零件表面等离子处理装置,其特征在于,所述锥形管、射流槽、内管、射流管以及喷嘴处于同一轴线上。
3.根据权利要求1所述的模具零件表面等离子处理装置,其特征在于,所述射流槽为倒喇叭形。
4.根据权利要求1所述的模具零件表面等离子处理装置,其特征在于,所述射流管由中间向两侧孔径逐渐增大。
5.根据权利要求1所述的模具零件表面等离子处理装置,其特征在于,所述下法兰与射流管的连接处设置有密封圈。
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