[发明专利]一种高晶面择优取向铜箔的室温电沉积制备方法在审
申请号: | 202111174609.7 | 申请日: | 2021-10-09 |
公开(公告)号: | CN113802155A | 公开(公告)日: | 2021-12-17 |
发明(设计)人: | 严振华;罗中跃;陈军;程方益;李海霞 | 申请(专利权)人: | 南开大学 |
主分类号: | C25D1/04 | 分类号: | C25D1/04;C25D3/38;C25D21/12 |
代理公司: | 天津耀达律师事务所 12223 | 代理人: | 侯力 |
地址: | 300071*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高晶面 择优取向 铜箔 室温 沉积 制备 方法 | ||
1.一种高晶面择优取向铜箔,其特征在于,所述铜箔具有高度的铜(111)或铜(220)晶面择优取向。
2.一种高晶面择优取向铜箔的室温电沉积制备方法,其特征在于包括以下步骤:
步骤1):配制250g/L硫酸铜溶液,用浓硫酸调节溶液pH值为0.9-1.1;
步骤2):取上述硫酸铜溶液作为电解液,以铜片作为阳极金属材料,以钛片作为阴极金属材料,然后将阴极和阳极同时浸入到硫酸铜电解液中,利用电化学工作站设置沉积参数,进行电沉积;
步骤3):从电解液中取出阴极,用稀硫酸和去离子水交替清洗,冷风吹干,即可得到具有高度晶面择优取向的铜箔。
3.根据权利要求2所述高晶面择优取向铜箔的室温电沉积制备方法,其特征在于,所述步骤1)中硫酸铜采用纯度≥98%的五水合硫酸铜试剂进行配制。
4.根据权利要求2所述高晶面择优取向铜箔的室温电沉积制备方式,其特征在于,所述步骤2)中阳极金属材料按以下方式制备而来:
将纯度为99.99%、厚度为0.3mm的铜片依次用稀硫酸、去离子水、无水乙醇清洗,冷风吹干得到阳极金属材料。
5.根据权利要求2所述高晶面择优取铜箔的室温电沉积制备方法,其特征在于,所述步骤2)中阴极金属材料按以下方式制备而来:
将纯度为99%、厚度为0.1mm的钛片浸入无水乙醇中超声清洗5分钟,冷风吹干得到阴极金属材料。
6.根据权利要求2所述高晶面择优取向铜箔的室温电沉积制备方法,其特征在于,所述步骤2)中阴极与阳极的间距为1.5~2.0cm。
7.根据权利要求2-6任一项所述高晶面择优取向铜箔的室温电沉积制备方法,其特征在于,所述步骤2)中电化学工作站沉积参数设置为:室温下,沉积电流密度0.3-0.8A/cm2,沉积时间50ms,沉积静置时间0-450ms,氧化电流密度0.05A/cm2,氧化时间20ms,氧化静置时间20ms。
8.根据权利要求7所述高晶面择优取向铜箔的室温电沉积制备方法,其特征在于,所述步骤3)中得到的具有高晶面择优取向的铜箔为铜(111)和铜(220)晶面取向择优的铜箔。
9.根据权利要求8所述高晶面择优取向铜箔的室温电沉积制备方法,其特征在于,当沉积静置时间为20ms时,所述铜箔(111)晶面取向最强;当静置时间为300ms时,所述铜箔(220)晶面取向最强。
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