[发明专利]一种Cascode增强型级联器件在审
申请号: | 202111156516.1 | 申请日: | 2021-09-30 |
公开(公告)号: | CN114050153A | 公开(公告)日: | 2022-02-15 |
发明(设计)人: | 宋亮;武乐可;朱廷刚;李亦衡;章涛 | 申请(专利权)人: | 江苏能华微电子科技发展有限公司 |
主分类号: | H01L25/18 | 分类号: | H01L25/18;H01L23/492;H01L23/367 |
代理公司: | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人: | 赵兴华 |
地址: | 215600 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 cascode 增强 级联 器件 | ||
本发明涉及了一种Cascode增强型级联器件,所述级联器件包括:金属板、SiMOSFET器件和GaNHEMT器件;所述SiMOSFET器件和所述GaNHEMT器件均设置在所述金属板上;所述SiMOSFET器件和所述GaNHEMT器件通过所述金属板级联连接。本发明将金属板作为所述SiMOSFET器件和所述GaNHEMT器件互联的基础,并作为散热片,无需陶瓷板,在提高了器件的散热性能的基础上,降低了成本。
技术领域
本发明涉及开关器件技术领域,特别是涉及一种Cascode增强型级联器件。
背景技术
随着通信技术的发展,消费者对手机充电器的要求越来越高,同时电动汽车发展势头也非常迅猛,对充电的需求也越来越高,小体积高效率是消费者的主要诉求,快充技术应运而生,目前的快充技术主要采用的主开关管目前主要有三种方案:1.直接使用高压Si器件,2.使用E-mode GaN HEMT器件,3.使用D-mode GaN HEMT合封而成的cascode器件。采用GaN基器件可以充分发挥GaN材料耐高温、耐高压、功率密度大、工作频率高的优势,具有非常大的市场潜力,尤其是使用第3种方案可以充分发挥D-mode GaN HEMT工艺简单、重复性高、可靠性好的优势。但是现有的cascode器件由于陶瓷板的使用,存在散热性能差和成本高的技术缺陷。
发明内容
本发明的目的是提供一种Cascode增强型级联器件,以提供一种散热性能好,成本低的cascode器件。
为实现上述目的,本发明提供了如下方案:
本发明提供一种Cascode增强型级联器件,所述级联器件包括:金属板、Si MOSFET器件和GaN HEMT器件;
所述Si MOSFET器件和所述GaN HEMT器件均设置在所述金属板上;
所述Si MOSFET器件和所述GaN HEMT器件通过所述金属板级联连接。
可选的,所述Si MOSFET器件的D极和所述GaN HEMT器件的S极均与所述金属板连接;
所述Si MOSFET器件的S极和所述GaN HEMT器件的G极连接。
可选的,所述GaN HEMT器件的Si衬底通过锡膏、银浆或其他低电阻率材料连接在所述金属板上。
可选的,所述Si MOSFET器件的D极通过锡膏、银浆或其他低电阻率材料连接在所述金属板上。
可选的,所述GaN HEMT器件的S极通过打线与所述金属板连接。
可选的,所述级联器件还包括封装器件;
所述Si MOSFET器件的G级与所述封装器件的G极pin脚连接,所述GaN HEMT器件的D极与所述封装器件的D极pin脚连接;
所述Si MOSFET器件的S极和所述GaN HEMT器件的G极均与所述封装器件的S极pin脚连接。
可选的,所述Si MOSFET器件的G级通过打线与所述封装器件的G极pin脚连接。
可选的,所述GaN HEMT器件的D极通过打线与所述封装器件的D极pin脚连接。
可选的,所述Si MOSFET器件的S极和所述GaN HEMT器件的G极通过打线与所述封装器件的S极pin脚连接。
根据本发明提供的具体实施例,本发明公开了以下技术效果:
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