[发明专利]一种极细金线焊接方法、焊接结构及其应用在审
申请号: | 202111141304.6 | 申请日: | 2021-09-27 |
公开(公告)号: | CN113871310A | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 罗凌;范亚明;刘苏阳;仲锐方;李淑君;高自立;黄蓉 | 申请(专利权)人: | 江西省纳米技术研究院 |
主分类号: | H01L21/607 | 分类号: | H01L21/607;H01L23/49 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 赵世发;王锋 |
地址: | 330000 江西省南昌市*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 极细金线 焊接 方法 结构 及其 应用 | ||
1.一种极细金线焊接方法,其特征在于包括:
提供带有基板焊盘(3)的基板(1)和带有芯片焊盘(4)的芯片(2);
采用金线(7)在芯片焊盘(4)上种植芯片焊球(6)作为第一焊点,并从第一焊点拉线弧到基板焊盘(3)上焊接第二焊点;
其中,所述金线(7)的直径在16μm以下。
2.根据权利要求1所述的极细金线焊接方法,其特征在于还包括:预先采用金线(7)在基板焊盘(3)上种植基板焊球(5),并将所述线弧拉到基板焊球(5)上形成第二焊点。
3.根据权利要求1所述的极细金线焊接方法,其特征在于:所述芯片焊盘(4)的焊盘宽度在40μm以下、焊盘间距在50μm以下。
4.根据权利要求1所述的极细金线焊接方法,其特征在于:采用超声焊接方式在所述基板焊盘(3)、芯片焊盘(4)上种植基板焊球(5)、芯片焊球(6);优选的,所述超声焊接方式所采用的焊接劈刀包括PECO公司出品的B0608-28-13-06型劈刀。
5.根据权利要求1所述的极细金线焊接方法,其特征在于:所述基板焊盘(3)、芯片焊盘(4)的材质包括铝、金、镍金中的任意一种;和/或,所述焊接劈刀的植球过程包括第一阶段、第二阶段和第三阶段。
6.根据权利要求5所述的极细金线焊接方法,其特征在于,若所述基板焊盘(3)、芯片焊盘(4)的材质为铝,则所述基板焊球(5)、芯片焊球(6)的植球工艺条件包括:
第一阶段至第三阶段均采用压力模式;
其中,所述第一阶段的超声能量、植球时间、植球压力分别设定为5~20mA、3~5mS、25~45g;
所述第二阶段的超声能量、植球时间、植球压力分别设定为10~30mA、1~3mS、10~30g;
所述第三阶段的超声能量、植球时间、植球压力分别设定为65~110mA、11~13mS、7~10g。
7.根据权利要求5所述的极细金线焊接方法,其特征在于,若所述基板焊盘(3)、芯片焊盘(4)的材质为金,则所述基板焊球(5)、芯片焊球(6)的植球工艺条件包括:
第一阶段至第三阶段均采用F模式;
其中,所述第一阶段的超声能量、植球时间、植球压力分别设定为0~15mA、3~5mS、20~45g;
所述第二阶段的超声能量、植球时间、植球压力分别设定为25~55mA、5~7mS、5~7g;
所述第三阶段的超声能量、植球时间、植球压力分别设定为40~85mA、7~10mS、7~10g。
8.根据权利要求5所述的极细金线焊接方法,其特征在于,若所述基板焊盘(3)、芯片焊盘(4)的材质为镍金,则所述基板焊球(5)、芯片焊球(6)的植球工艺条件包括:
第一阶段至第三阶段均采用F模式;
其中,所述第一阶段的超声能量、植球时间、植球压力分别设定为0~15mA、1~3mS、25~50g;
所述第二阶段的超声能量、植球时间、植球压力分别设定为100~130mA、8~12mS、5~8g;
所述第三阶段的超声能量、植球时间、植球压力分别设定为120~150mA、13~17mS、10~15g。
9.一种由权利要求1-8中任一项所述方法形成的极细金线焊接结构。
10.一种封装结构,包括带有基板焊盘(3)的基板(1)和带有芯片焊盘(4)的芯片(2),其特征在于:所述基板焊盘(3)和芯片焊盘(4)通过权利要求9所述的极细金线焊接结构电性连接。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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