[发明专利]一种纳米尺度分析地质样品晶体取向与相分布的方法

权利要求书

1.一种纳米尺度分析地质样品晶体取向与相分布的方法，其特征在于：包括以下步骤：

a1、制备电子束可穿透厚度的样品；

a2、在STEM模式下拍摄感兴趣区域的形貌图；

a3、以获取的形貌图为导航，并在STEM模式下进行二维扫描纳米束电子衍射数据采集；

a4、通过计算机软件对采集的数据进行分析处理，进而在纳米尺度获得样品的晶体取向和相分布图。

2.根据权利要求1所述的一种纳米尺度分析地质样品晶体取向与相分布的方法，其特征在于：所述STEM模式为扫描透射模式，所述二维扫描纳米束电子衍射数据采集为NBED。

3.根据权利要求1所述的一种纳米尺度分析地质样品晶体取向与相分布的方法，其特征在于：所述a1包括的电子束可穿透的厚度的样品为纳米尺度，所述电子束可穿透的厚度的样品的纳米尺度通常为50-200nm。

4.根据权利要求2所述的一种纳米尺度分析地质样品晶体取向与相分布的方法，其特征在于：所述a1包括的样品制备可以是任意可实现样品减薄效果的技术，包括但不限于机械研磨、离子减薄、聚焦离子束加工。

5.根据权利要求3所述的一种纳米尺度分析地质样品晶体取向与相分布的方法，其特征在于：所述a2包括的STEM模式即扫描透射模式下拍摄感兴趣区域的形貌图具体是指利用任何扫描透射成像探测器进行成像，包括但不限于：STEM明场像、STEM暗场像、STEM-EDS面扫图像、STEM-EELS面扫图像等。

6.根据权利要求4所述的一种纳米尺度分析地质样品晶体取向与相分布的方法，其特征在于：所述a3包括的纳米束电子衍射的具体条件为：二级聚光镜光阑尺寸为10-50μm，且光路模式为平行光模式。

7.根据权利要求5所述的一种纳米尺度分析地质样品晶体取向与相分布的方法，其特征在于：所述a1包括的电子束可穿透厚度的样品中的样品为所有可在透射电子显微镜下进行观测的固体地质样品。

8.根据权利要求6所述的一种纳米尺度分析地质样品晶体取向与相分布的方法，其特征在于：所述电子束可穿透的厚度的样品的纳米尺度优选为50-80nm，所述二级聚光镜光阑的尺寸优选为10μm。