[发明专利]一种基于离子减薄的电子显微三维重构地质样品制样方法在审

专利信息
申请号: 202111140756.2 申请日: 2021-09-27
公开(公告)号: CN113899764A 公开(公告)日: 2022-01-07
发明(设计)人: 邢介奇;鲜海洋;杨宜坪;马灵涯;魏景明;朱建喜;何宏平 申请(专利权)人: 中国科学院广州地球化学研究所
主分类号: G01N23/04 分类号: G01N23/04;G01N23/20008;G01N23/20;G01N1/28;G01N1/32;G01N1/34
代理公司: 郑州欧凯专利代理事务所(普通合伙) 41166 代理人: 杨岭
地址: 510000 广*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 离子 电子 显微 三维 地质 样品 方法
【权利要求书】:

1.一种基于离子减薄的电子显微三维重构地质样品制样方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤;

S1、将目标样品切割成一维方向延伸的棒状、条状或线状;

S2、对获得的一维方向延伸样品进行清洗和机械研磨,使样品的一端形成针尖状;

S3、将S2步骤中获得的针尖状样品采用离子减薄进行进一步研磨减薄至电子束可穿透的厚度,进而获得可在透射电子显微镜下进行三维重构数据采集的样品。

2.根据权利要求1所述的一种基于离子减薄的电子显微三维重构地质样品制样方法,其特征在于:所述S1步骤中所述的将目标样品切割成一维方向延伸的棒状、条状或线状具体是指,通过手标本和显微镜下观察将块状地质固体样品中感兴趣的区域采用机械切割的方法切割成长度为2-5cm的一维延伸的形状。

3.根据权利要求1所述的一种基于离子减薄的电子显微三维重构地质样品制样方法,其特征在于:所述S2步骤中所述的对获得的一维方向延伸样品进行清洗,其清洗溶液具体是指纯丙酮或乙醇,或者其水溶液中进行超声清洗。

4.根据权利要求1所述的一种基于离子减薄的电子显微三维重构地质样品制样方法,其特征在于:所述S3步骤中所述的离子减薄的电压为1000-4000V,且离子入射角度为7-15度。

5.根据权利要求1所述的一种基于离子减薄的电子显微三维重构地质样品制样方法,其特征在于:所述S3步骤中所述的电子束可穿透的厚度,具体指针尖状端部尺度,且尺度为纳米尺度,且尺度通常为50-200nm。

6.根据权利要求5所述的一种基于离子减薄的电子显微三维重构地质样品制样方法,其特征在于:所述指针尖状端部尺度优选为50-80nm。

7.根据权利要求1所述的一种基于离子减薄的电子显微三维重构地质样品制样方法,其特征在于:所述地质样品为所有可在透射电子显微镜下进行观测的固体地质样品。

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