[发明专利]一种柔性镀膜设备的真空腔室

说明书

本申请涉及一种真空腔室，尤其是涉及一种柔性镀膜设备的真空腔室，其技术方案要点是：一种柔性镀膜设备的真空腔室包括溅镀腔室、主鼓以及阴极组件；溅镀腔室内部设置有隔舱机构，隔舱机构包括前法兰和后法兰，前法兰与后法兰之间设置有隔舱，隔舱设置在主鼓的一侧并沿主鼓的轴线方向延伸；隔舱靠近主鼓的一侧开设有用于连通隔舱与溅镀腔室的溅镀窗口，溅镀窗口沿隔舱的长度方向延伸，且溅镀窗口的两端分别设置有能够隔舱长度方向滑动的遮板，遮板的宽度不小于溅镀窗口的宽度；达到了实现镀膜幅宽的调整，以适用于对不同幅宽规格的柔性薄膜的镀制的目的。

技术领域

本申请涉及一种真空腔室，尤其是涉及一种柔性镀膜设备的真空腔室。

背景技术

目前，柔性导电薄膜沉积技术已在柔性触摸屏以及锂电池等行业广泛推广，柔性薄膜通过卷绕镀膜设备在真空环境下完成镀制。

当前业界主要通过在溅镀腔室内设置多个隔舱，将溅镀腔室分为多个等容积或不等容积的磁控溅射空间，在每个磁控溅射空间内对各个柔性薄膜卷单独进行相同靶材材质溅镀物的溅射；具体的，溅镀腔室的一侧设置有阴极组件，阴极组件包括能够插入隔舱内部的靶材；溅镀腔室的另一侧设置有能够置入溅镀腔室内部并用于放置柔性薄膜的卷绕组件，具体的，卷绕组件包括能够围绕自身轴线定轴转动的主鼓，柔性薄膜贴合在主鼓的周面上。

针对当前业界的柔性镀膜设备，发明人发现一些相关技术中的柔性镀膜设备存在的各种问题：1、镀膜幅宽为固定规格，无法适应不同幅宽规格的柔性薄膜；2、溅镀物易绕镀在柔性薄膜卷意外的区域；3、不同隔舱之间易发生工艺气体串气的情况，进而影响镀膜质量。

发明内容

为了实现镀膜幅宽的调整，以适用于对不同幅宽规格的柔性薄膜的镀制，本申请提供一种柔性镀膜设备的真空腔室。

本申请提供的一种柔性镀膜设备的真空腔室采用如下的技术方案：

一种柔性镀膜设备的真空腔室，包括溅镀腔室、主鼓以及阴极组件；溅镀腔室内部设置有隔舱机构，隔舱机构包括前法兰和后法兰，前法兰与后法兰之间设置有隔舱，隔舱设置在主鼓的一侧并沿主鼓的轴线方向延伸；隔舱靠近主鼓的一侧开设有用于连通隔舱与溅镀腔室的溅镀窗口，溅镀窗口沿隔舱的长度方向延伸，且溅镀窗口的两端分别设置有能够隔舱长度方向滑动的遮板，遮板的宽度不小于溅镀窗口的宽度。

通过采用上述技术方案，溅镀物通过溅镀窗口溅射在贴合于主鼓周面上的柔性薄膜表面，实现对柔性薄膜的镀制；当需要对幅宽较小的柔性薄膜进行镀制时，滑动两个遮板以使两个遮板向相互靠近的方向移动，以增大对溅镀窗口的遮挡面积即减小溅镀窗口的有效幅宽，进而减小了溅镀物的有效溅射面积；当需要对幅宽较大的柔性薄膜进行镀制时，滑动两个遮板以使两个遮板向相互背离的方向移动，以减小对溅镀窗口的遮挡面积即增大溅镀窗口的有效幅宽，进而增大了溅镀物的有效溅射面积；综上，本申请实现了镀膜幅宽的调整，以适用于对不同幅宽规格的柔性薄膜的镀制。

可选的，隔舱的外周面上固定有盖板，溅镀窗口开设在盖板上；遮板上穿设有多个滑动螺钉，滑动螺钉上旋拧有位于遮板背离盖板一侧的定位螺母；盖板上开设有供滑动螺钉沿隔舱长度方向滑动的调节槽，定位螺母用于将遮板压紧在盖板上。

通过采用上述技术方案，当需要滑动遮板时，推拉遮板以使滑动螺钉在调节槽内部沿隔舱的长度方向滑动，进而实现对遮板滑动的导向作用；定位螺母的设置，实现对遮板的固定作用，防止在溅镀物溅射的过程中，由于遮板的移动而导致镀膜幅宽的波动，进而导致镀膜效果变差。

可选的，隔舱设置有多个并围绕主鼓的轴线分布；相邻隔舱之间设置有挡板，挡板沿隔舱的长度方向延伸并沿主鼓的径向延伸，挡板可拆卸连接于前法兰与后法兰之间。