[发明专利]一种柔性镀膜设备的真空腔室

权利要求书

1.一种柔性镀膜设备的真空腔室，包括溅镀腔室(1)、主鼓(22)以及阴极组件(8)；其特征在于：溅镀腔室(1)内部设置有隔舱机构(3)，隔舱机构(3)包括前法兰(31)和后法兰(32)，前法兰(31)与后法兰(32)之间设置有隔舱(33)，隔舱(33)设置在主鼓(22)的一侧并沿主鼓(22)的轴线方向延伸；隔舱(33)靠近主鼓(22)的一侧开设有用于连通隔舱(33)与溅镀腔室(1)的溅镀窗口(34)，溅镀窗口(34)沿隔舱(33)的长度方向延伸，且溅镀窗口(34)的两端分别设置有能够沿隔舱(33)长度方向滑动的遮板(351)，遮板(351)的宽度不小于溅镀窗口(34)的宽度。

2.根据权利要求1所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：隔舱(33)的外周面上固定有盖板(353)，溅镀窗口(34)开设在盖板(353)上；遮板(351)上穿设有多个滑动螺钉(355)，滑动螺钉(355)上旋拧有位于遮板(351)背离盖板(353)一侧的定位螺母(356)；盖板(353)上开设有供滑动螺钉(355)沿隔舱(33)长度方向滑动的调节槽(354)，定位螺母(356)用于将遮板(351)压紧在盖板(353)上。

3.根据权利要求2所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：隔舱(33)设置有多个并围绕主鼓(22)的轴线分布；相邻隔舱(33)之间设置有挡板(4)，挡板(4)沿隔舱(33)的长度方向延伸并沿主鼓(22)的径向延伸，挡板(4)可拆卸连接于前法兰(31)与后法兰(32)之间。

4.根据权利要求3所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：调节槽(354)为阶梯槽，定位螺母(356)的头部下沉至调节槽(354)内部；盖板(353)上可拆卸连接有用于密封调节槽(354)的盖片(357)。

5.根据权利要求3或4所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：盖板(353)上设置有两个沿溅镀窗口(34)长度方向延伸的侧沿(358)，两个侧沿(358)分别靠近溅镀窗口(34)的两个长边设置，侧沿(358)向盖板(353)背离隔舱(33)内部的一侧延伸。

6.根据权利要求5所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：两个遮板(351)相互靠近的一端设置有位于溅镀窗口(34)内部的折边(359)，折边(359)向遮板(351)背离隔舱(33)内部的方向延伸，且折边(359)沿溅镀窗口(34)的宽度方向延伸；折边(359)背离遮板(351)的一侧形状为与主鼓(22)同轴分布的圆弧，所述圆弧的半径大于主鼓(22)的半径。

7.根据权利要求2-6任一项所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：盖板(353)与遮板(351)之间存在空隙，盖板(353)靠近遮板(351)的一侧设置有多条冷却水道(5)，冷却水道(5)外接有冷却水源。

8.根据权利要求1所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：主鼓(22)设置在溅镀腔室(1)的一侧，溅镀腔室(1)背离主鼓(22)的一侧敞开，溅镀腔室(1)的内壁上设置有沿主鼓(22)轴线方向延伸的轨道(11)；前法兰(31)与后法兰(32)之间设置有多个沿主鼓(22)轴线方向延伸的滑轨(36)，滑轨(36)与轨道(11)相适配。

9.根据权利要求1所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：隔舱(33)内部设置有气管(6)，气管(6)外接有工艺气体源；隔舱(33)的一侧设置有与隔舱(33)内部连通的真空管道(71)，真空管道(71)外接有真空系统。

10.根据权利要求1所述的一种柔性镀膜设备的真空腔室，其特征在于：还包括阴极组件(8)，阴极组件(8)包括能够与前法兰(31)贴合的阴极板(81)，阴极板(81)上设置有能够插入隔舱(33)内部的靶材(82)，前法兰(31)上开设有供靶材(82)穿过的舱口(311)；舱口(311)的边缘处设置有密封圈(9)。