[发明专利]MTF测试设备及其用途

说明书

本发明涉及一种MTF测试设备及其用途。MTF测试设备包括多个伸缩相机，每个伸缩相机安装在相机固持器上的固定的预定位置处，每个相机接收由单个待测装置的至少一个透镜投影的图像。处理单元耦接到伸缩相机。处理单元被配置成从每个伸缩相机接收图像数据并且执行多个MTF测量，伸缩相机安装在相机固持器上，因为每个伸缩相机捕获图像数据，从而在透镜的不同场位置处的MTF测量。相机固持器包括固持结构和至少两个支架，至少两个支架是在第一端部与第二端部之间突出的多个细长元件，端部被可释放地安装在固持结构上，并且其中至少两个相机被安装在每个支架上，并且支架能单独地从所述固持结构拆卸。

技术领域

本发明涉及一种MTF测试设备，包括：样品台、多个伸缩相机以及处理单元，样品台用于接收至少一个待测装置，该待测装置包括至少一个透镜，伸缩相机各自安装在相机固持器上的固定的预定位置处，该相机固持器是刚性结构，其中伸缩相机接收由单个待测装置的至少一个透镜投影的图像，处理单元经由至少一个数据链路耦接到伸缩相机，其中，伸缩相机被配置为经由数据链路将图像数据发送至处理单元，并且处理单元被配置为从每个伸缩相机接收图像数据，并且通过从由伸缩相机接收的图像数据计算每个伸缩相机的MTF测量数据集来执行多个MTF测量，其中，伸缩相机安装在相机固持器上，由于每个相机捕获在不同场位置处的MTF测量的图像数据。本发明进一步涉及MTF测试设备的用途。

背景技术

调制传递函数(MTF)是用于直接且定量地指示光学系统的质量的一个参数。MTF测量经常应用于质量控制以用于成像光学元件的表征。随着成像应用进入高容量市场，诸如移动电话或汽车应用等，高容量MTF测试成为大批量生产的标准。

例如从US 2017/0048517 A1已知用于高容量MTF测试的MTF测试设备。MTF测试设备能够测量装载有多个待测装置的托盘。通过使用平行移位的多个望远镜或准直器来同时执行测量，同时每个准直器或望远镜旋转并向其相应的待测透镜提供测试结构的图像。固持望远镜或准直器的机械布置使得准直器和望远镜能够平行移动，其中，每个准直器或望远镜围绕每个待测透镜的中心旋转。通过从围绕透镜中心的多个点照射透镜，可以测量表征视野中的不同点的MTF值。

另一测量原理是基于相对于待测透镜或待测装置以不同角度安装多个固定的伸缩相机。以一个接一个的过程进行测试，其中每个待测装置(DUT)被移动到测试位置，被测试，从该位置移开，并且然后下一个DUT被移动到测试位置。基于这种测量原理的MTF测试设备例如是由三光股份有限公司(Trioptics GmbH)提供的专业版(Pro)。

专业版MTF测试设备包括多个伸缩相机，每个伸缩相机安装在固定的预定位置处。这通过使用圆顶形的相机固持器来实现。相机被布置在圆顶件的内侧上、指向圆顶件的曲率中心。伸缩相机对准一个单独的待测装置。放置在x-y台上的样品固持器承载待测装置(DUT)。样品固持器依次将DUT一个接一个地移动到测试位置，在测试位置中，伸缩相机捕获由待测装置的至少一个透镜投影的图像。可并行地表征DUT的不同场位置的MTF，因为相机安装在不同位置和取向中。

发明内容

本发明的目的是提供一种MTF测试设备和MTF测试设备的用途，其中，MTF测试设备应当包括多个固定的伸缩相机，每个固定的伸缩相机安装在固定位置处，以用于表征待测装置的视场中的不同点，其中，MTF测试设备应当提供改进的可维护性。

该目的通过MTF测试设备解决，MTF测试设备包括：

-样品台，该样品台用于接收至少一个待测装置，该待测装置包括至少一个透镜，

-多个伸缩相机，该多个伸缩相机各自安装在相机固持器上的固定的预定位置处，该相机固持器是刚性结构，其中，伸缩相机接收由单个待测装置的至少一个透镜投影的图像，