[发明专利]MTF测试设备及其用途

权利要求书

1.一种调制传递函数MTF测试设备(2)，包括：

-样品台(4)，所述样品台(4)用于接收至少一个待测装置(6)，所述待测装置(6)包括至少一个透镜(10)，

-多个伸缩相机(8)，所述多个伸缩相机(8)各自安装在相机固持器(22)上的固定的预定位置处，所述相机固持器(22)是刚性结构，其中，所述伸缩相机(8)接收由单个待测装置(6)的所述至少一个透镜(10)投射的图像，

-处理单元(12)，所述处理单元(12)经由至少一个数据链路(14)耦接至所述伸缩相机(8)，其中，所述伸缩相机(8)被配置为经由所述数据链路(14)将图像数据发送至所述处理单元(12)，并且所述处理单元(12)被配置成从每个伸缩相机(8)接收图像数据并且通过从由所述伸缩相机(8)接收的图像数据计算每个伸缩相机(8)的MTF测量数据集来执行多个MTF测量，

-其中，所述伸缩相机(8)安装在所述相机固持器(22)上，使得每个伸缩相机(8)捕获导致在不同场位置处的MTF测量的图像数据，

其特征在于

-所述相机固持器(22)包括固持结构(26)和至少两个支架(32)，所述至少两个支架(32)是在第一端部(34)与第二端部(36)之间突出的多个细长元件，所述端部(34、36)可释放地安装在所述固持结构(26)上，并且其中，至少两个伸缩相机(8)安装在每个支架(32)上，并且所述支架(32)能够单独地从所述固持结构(26)拆卸。

2.根据权利要求1所述的MTF测试设备(2)，其中，每个支架(32)在所述第一端部(34)与所述第二端部(36)之间在纵向方向(L)上突出，并且所述支架(32)安装在所述固持结构(26)上，使得所述支架(32)的所述纵向方向(L1…L7)彼此平行。

3.根据权利要求1或2所述的MTF测试设备(2)，其中，所述固持结构(26)包括第一侧部元件(28)和第二侧部元件(30)，所述侧部元件(28、30)形成所述固持结构(26)的相对的横向侧部，并且所述支架(32)的第一端部(34)安装在所述第一侧部元件(28)上，并且所述支架(32)的第二端部(36)安装在所述第二侧部元件(30)上。

4.根据权利要求1所述的MTF测试设备(2)，其中，所述支架(32)包括在所述第一端部(34)与所述第二端部(36)之间突出的弯曲中心部分(38)，并且所述至少两个伸缩相机(8)安装在所述弯曲中心部分(38)中。

5.根据权利要求4所述的MTF测试设备(2)，其中，所述支架(32)的弯曲中心部分(38)至少分部段地弯折成类似于圆的区段，其中，具体地，所述圆的中心被布置在所述相机固持器(22)与所述样品台(4)之间，进一步具体地，所述圆的中心被布置在所述样品台(4)的平面中。

6.根据权利要求4或5所述的MTF测试设备(2)，其中，当与所述中心部分(38)中的另一个横截面相比时，所述支架(32)在所述第一端部(34)和/或所述第二端部(36)中的横截面更大。

7.根据权利要求1所述的MTF测试设备(2)，其中，所述支架(32)是扁平构件，并且每个支架(32)在支架平面(40)中延伸，其中，所述至少两个支架(32)被布置成使得所述至少两个支架(32)的支架平面(40)沿着支架平面交叉线(42)交叉，其中，具体地，所述支架平面交叉线(42)被布置在所述相机固持器(22)与所述样品台(4)之间，进一步具体地，所述支架平面交叉线(42)被布置在所述样品台(4)的平面中。

8.根据权利要求1所述的MTF测试设备(2)，其中，所述支架(32)是扁平元件，所述扁平元件各自具有彼此相对布置的两个大表面(44)，其中，所述相机(8)安装在所述支架(32)上，使得每个相机(8)的相机本体(46)直接安装在所述支架(32)的两个大表面(44)中的一个大表面上。