[发明专利]一种具有分选功能的晶圆片除静电装置

权利要求书

1.一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，包括框架(1)，所述框架(1)一侧内壁设置有下料机构(2)，所述下料机构(2)包括支撑架(201)、支撑滑轨(202)、电机一(203)、丝杆一(204)、升降块(205)、晶圆盒(206)，所述框架(1)内壁上连接有两个所述支撑架(201)，所述支撑架(201)顶部连接有所述支撑滑轨(202)，所述支撑滑轨(202)内设置有所述丝杆一(204)，所述丝杆一(204)上套设有所述升降块(205)，所述升降块(205)之间连接有所述晶圆盒(206)，所述晶圆盒(206)位于两个所述支撑滑轨(202)之间，所述框架(1)顶部连接有所述电机一(203)，所述电机一(203)的输出轴与所述丝杆一(204)连接，其特征在于：所述支撑架(201)底部设置有推料机构(3)，所述框架(1)一侧内壁上设置有驱动机构(4)，所述驱动机构(4)用于驱动所述推料机构(3)活动，所述框架(1)内顶壁并位于所述支撑架(201)的一侧设置有除静电机构(5)，所述框架(1)内底壁并位于所述除静电机构(5)下方设置有接料机构(6)，所述接料机构(6)远离所述下料机构(2)的一侧设置有分选机构(7)，所述推料机构(3)包括滑杆(301)、支撑块(302)、滑套(303)、活动块(304)、平移杆(305)、支撑杆(306)、固定块(307)、推料杆(308)，所述支撑架(201)底部连接有两个所述支撑块(302)，所述支撑块(302)之间连接有所述滑杆(301)，所述滑杆(301)上套有所述滑套(303)，所述滑套(303)底部连接有所述平移杆(305)，所述平移杆(305)上套有所述活动块(304)，所述活动块(304)一侧连接有所述支撑杆(306)，所述支撑杆(306)顶部连接有所述固定块(307)，所述固定块(307)顶部连接有所述推料杆(308)，所述推料杆(308)位于所述支撑架(201)之间。

2.根据权利要求1所述的一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，其特征在于：所述驱动机构(4)包括电机座(401)、电机二(402)、转动块(403)、转动杆(404)、连接头(405)、弹簧(406)，所述框架(1)内壁上连接有所述电机座(401)，所述电机座(401)顶部连接有所述电机二(402)，所述电机二(402)的输出轴连接有所述转动块(403)，所述转动块(403)内连接有所述转动杆(404)，所述转动杆(404)一端连接有所述连接头(405)，所述连接头(405)与所述活动块(304)连接，所述转动杆(404)上套设有所述弹簧(406)，所述弹簧(406)位于所述转动块(403)和所述连接头(405)之间。

3.根据权利要求1所述的一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，其特征在于：所述除静电机构(5)包括除静电箱(501)、离子风枪(502)、喷嘴(503)、真空泵(504)，所述框架(1)内顶壁连接有所述除静电箱(501)，所述除静电箱(501)内设置有所述离子风枪(502)，所述离子风枪(502)底部连接有所述喷嘴(503)，所述除静电箱(501)一侧连接有所述真空泵(504)。

4.根据权利要求1所述的一种具有分选功能的晶圆片除静电装置，其特征在于：所述接料机构(6)包括固定箱(601)、气缸一(602)、升降板(603)、电机三(604)、转轴(605)、接料盘(606)，所述框架(1)内底壁连接有所述固定箱(601)，所述固定箱(601)内底壁连接有所述气缸一(602)，所述气缸一(602)的输出轴连接有所述升降板(603)，所述升降板(603)与所述固定箱(601)内壁连接，所述升降板(603)顶部连接有所述电机三(604)，所述电机三(604)的输出轴连接有所述转轴(605)，所述转轴(605)顶部伸出所述固定箱(601)并连接有所述接料盘(606)。