[发明专利]一种防尘式扩膜机在审
| 申请号: | 202111109845.0 | 申请日: | 2021-09-23 |
| 公开(公告)号: | CN113823584A | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
| 发明(设计)人: | 安长龙 | 申请(专利权)人: | 江苏昶明智能科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B01D46/10 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 214021 江苏省无锡市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 防尘 式扩膜机 | ||
1.一种防尘式扩膜机,包括机体,设置在机体上且呈外露状的机身,其特征在于,位于机身一侧的所述机体上设有隐藏式用于机身防尘的防尘机构,所述防尘机构包括:
隐藏槽,设置在机身的一侧;
防尘板,可上下运动的滑动连接在隐藏槽内;
密封框,呈U形,且密封框转动连接在防尘板内;
其中,所述防尘板内设有与密封框相匹配的收缩槽,所述密封框底部与收缩槽转动连接,所述收缩槽内壁与密封框边框之间设有相连接且用于机身防尘的防尘罩,所述防尘罩呈柔软可折叠状。
2.据权利要求1所述的防尘式扩膜机,其特征在于:所述防尘板呈U形,且防尘板之间设有相连接且用于防尘的防尘布,所述防尘板的两端均设有贯穿式调节孔,所述调节孔内设有对称分布且可自动弹出的定位杆,所述隐藏槽出口端内壁上设有用于定位杆卡合固定的定位槽。
3.据权利要求2所述的防尘式扩膜机,其特征在于:位于定位杆外侧的所述调节孔内壁上设有呈环形的调节环槽,所述调节环槽内设有相匹配的第一弹簧,所述定位杆穿过调节环槽中部,位于第一弹簧一侧的所述调节环槽内设有固定连接的定位环,所述定位环与相应的定位杆固定连接。
4.据权利要求3所述的防尘式扩膜机,其特征在于:所述防尘板内设有呈U形且用于两个调节孔中部相连通的连通孔,所述定位杆之间设有相连接的连接线,所述连接孔内设有传动线,所述传动线两端分别与相应的连接线中部固定连接,位于密封框上端部一侧的所述连通孔侧壁上设有传动杆,所述传动杆一端与传动线中部固定连接,且传动杆另一端活动穿过连通孔侧壁,且传动杆另一端位于密封框的一侧。
5.据权利要求1所述的防尘式扩膜机,其特征在于:所述密封框包括横杆和竖杆,所述竖杆为两个,且竖杆对称分布在横杆两端,所述竖杆包括第一杆和第二杆,所述第一杆端部设有用于第二杆滑动连接的滑槽,所述滑槽内设有固定连接且用于第二杆自动收缩的第二弹簧,所述第二弹簧与相应的第二杆端部固定连接,所述防尘罩分别与横杆和竖杆固定连接,所述第一杆和第二杆上均设有相对齐且相互连通的挤压槽,所述挤压槽剖面呈凸形,相应的所述防尘罩底部位于挤压槽中部,所述挤压槽内设有多个均匀分布的卡环,所述卡环上端分别与相应的防尘罩底部固定连接。
6.权利要求5所述的防尘式扩膜机,其特征在于:所述第一杆一端设有与相应收缩槽底部转动连接的转轴,且第一杆另一端底部设有解锁槽,所述解锁槽内设有可上下滑动的解锁杆,位于第二弹簧一侧的所述第二杆底部设有卡槽,所述卡槽内设有可上下运动且用于解锁槽卡合固定的卡杆。
7.根据权利要求6所述的防尘式扩膜机,其特征在于:所述卡槽内设有用于卡杆自动弹出的第三弹簧,所述第三弹簧一端与卡槽内壁固定连接,且第三弹簧另一端与卡杆端部固定连接,位于解锁杆两端的所述解锁槽内壁上设有对称分布的限位槽,所述限位槽内设有滑动连接的限位滑块,所述限位滑块分别与相应的解锁杆两端固定连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





