[发明专利]一种功率半导体特性参数测试系统及方法

权利要求书

1.一种功率半导体特性参数测试系统，其特征在于，

包括功率主回路、双脉冲测试电路、电感阻隔电路；

所述功率主回路设有叠层母排，用以获得低杂感；

所述双脉冲测试电路，用于对被测器件进行测试，其包括辅助功率半导体、感性负载、杂散电感，其通过叠层母排与电感阻隔电路并联在一起；

所述杂散电感、辅助功率半导体与待测功率半导体串联在在一起；

所述感性负载为负载电感，其与辅助功率半导体并联；

所述电感阻隔电路，用于阻隔寄生电感，其设有母线电容和吸收电容；

所述母线电容和吸收电容通过叠层母排并联在一起，并与双脉冲测试电路电连接。

2.如权利要求1所述的一种功率半导体特性参数测试系统，其特征在于，

所述辅助功率半导体、待测功率半导体结构相同，并分别设置体二极管；

所述叠层母排为拼接式弯折结构。

3.如权利要求1所述的一种功率半导体特性参数测试系统，其特征在于，

还包括双脉冲驱动电路、充放电回路、高压源；

所述双脉冲驱动电路，用于生成双脉冲驱动信号；

所述充放电回路设有若干继电器、限流电阻、保护二极管。

4.如权利要求3所述的一种功率半导体特性参数测试系统，其特征在于，

所述继电器分为充电继电器、放电继电器；

所述充电继电器的数量为两个，其包括充电继电器一、充电继电器二；

所述充电继电器一与保护二极管、限流电阻串联。

5.如权利要求4所述的一种功率半导体特性参数测试系统，其特征在于，

所述放电继电器串联一泄放电阻，并与一安全电阻并联。

6.如权利要求5所述的一种功率半导体特性参数测试系统，其特征在于，

所述安全电阻并联一均压电阻；所述均压电阻的电阻数量为两个，其与母线电容串联。

7.一种功率半导体特性参数测试方法，其特征在于，

应用于如权利要求1-6任一所述的一种功率半导体特性参数测试系统；

利用双脉冲进行测试，第一脉冲使流过被测器件的电流达到所需测试值，并获得被测器件的关断波形，第二脉冲用于观察被测器件的开通波形，其具体包括以下步骤：

第一步，关断待测功率半导体测试开关，使得电流I_D迅速减小，同时，杂散电感L_S会阻止其变化；

第二步，感应出尖峰电压ΔV叠加在被测器件两端，尖峰电压ΔV方向和电流减小方向一致；

第三步，负载电感和辅助功率半导体的反并联二极管形成续流回路，得到开关关断时刻的承受电压V_DS，实现功率半导体特性参数的测试。

8.如权利要求7所述的一种功率半导体特性参数测试方法，其特征在于，

所述承受电压V_DS计算公式如下：

V_DS＝V_DD+ΔV

其中，为电流变化率，L_S为杂散电感，V_DD为过冲电压。

9.如权利要求7所述的一种功率半导体特性参数测试方法，其特征在于，

所述关断波形的获取方式如下：

在规定母线电压及测试电流的作用下，并当第一脉冲结束时刻，被测器件的波形变化，即为关断波形。

10.如权利要求7所述的一种功率半导体特性参数测试方法，其特征在于，

所述开通波形为第二脉冲到来时以及电流任务判断时的电流值；

所述第一脉冲和第二脉冲的发送间隔时间为t；

10us≤t≤30us。