[发明专利]一种真空冷却系统的焊接加工方法及用途

说明书

本发明提供了一种真空冷却系统的焊接加工方法及用途，所述焊接加工方法包括：将两件产品的焊接面朝外，非焊接面相互贴合固定，对焊接面进行焊接，待产品冷却去除内部应力解除固定，检测产品的平面度并去除加工余量。在本发明中，提供一种新型的焊接加工方法，在保证冷却系统焊接后变形可控，成品壁厚均匀性达到技术要求的同时，又能够去除加工余量且保证产品的平面度，可操作性强，使用简便，适于推广。

技术领域

本发明属于半导体IC制造用设备加工技术领域，涉及焊接加工的方法，尤其涉及一种真空冷却系统的焊接加工方法及用途。

背景技术

金属复合板材的性能功能化和较低的成本及应用范围广泛，提高了传统金属材料的发展潜力。稀有金属复合板材增长速度依然较快，随着国家环保产业政策实施力度的加强，有色金属复合板材在电力烟气脱硫设备的应用持续增长，同时化工行业的投资国产化程度大大加快，也为有色金属材料的发展提供了良好发展机遇，国家产业政策的支持、较高的技术壁垒、产业升级的需求拉动为行业的发展提供了广阔空间。但是由于使用复合板的构件逐渐变多，复合板的焊接问题亟需得到解决。

CN108907415A公开了一种焊接方法，应用于蒸发源底座法兰和接头的焊接，蒸发源底座法兰开设有穿孔，接头插入所述穿孔后，所述接头的外壁与所述穿孔的内壁之间具有间隙，该焊接方法包括：在所述接头的外壁和所述穿孔的内壁之间进行钨极氩弧焊，所述钨极氩弧焊为自熔式钨极氩弧焊或加丝式钨极氩弧焊。通过该公开的方法焊接蒸发源底座法兰和接头时能够更好地焊接成型，焊接过程中能够更加方便地进行焊接操作，施工难度降低，焊接面无裂纹、未熔合和表面气孔等缺陷，焊接合格率显著提高。

CN103785962B公开了一种钛钢复合板全透焊接方法。采用钒作为钛钢复合板复合界面的中间过渡层，实现钛钢复合板全焊透。钛钢复合板的焊接工序为钢基层的清理，钢基层的焊接，钢基层的焊缝清理和检验，中间过渡层的坡口清理，中间过渡层的焊接，中间过渡层焊缝的清理和检验，钛覆层的焊前清理，钛覆层的焊接，钛覆层的焊后清理和检验，焊缝接头力学性能测试。该发明可以实验钛钢复合板的全透焊接，焊缝接头没有无熔合现象，焊缝质量好，焊缝成型美观，解决了钛钢复合板焊接无法实现全焊透的难题。

CN105665892B公开了一种排气机匣组件氩弧焊接方法，包括以下步骤：将排气支承的待焊处进行机加工设置缓冲过渡段，使排气支承的待焊处壁厚：排气段外环的待焊处壁厚＝0.9～1.1：0.9～1.1。将排气支承和排气段外环装夹好后，采用钨极氩弧焊方法进行定位焊。在钨极直径3.2毫米、焊接电流80～95A、脉冲频率3.5Hz、脉冲宽度27％、焊接正面氩气流量30～50L/min、焊接背面氩气流量20～40L/min的条件下，对排气支承和排气段外环的待焊处进行连续焊接。上述排气机匣组件氩弧焊接方法，通过对焊接接头形式的改进及优化连续焊接条件，既能保证焊缝成形良好，又能避免出现焊接裂纹，解决了零件合格率低的问题。

板材在由于外因(受力、湿度和温度场变化等)而变形时，在板材内各部分之间产生相互作用的内力，以抵抗这种外因的作用，并试图使板材从变形后的位置恢复到变形前的位置，传统方案只能通过校正机整形，难度高，对操作人员的技术要求高，因此，亟需开发设计一种对平面度可控的，且降低板材变形概率的焊接方法。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种真空冷却系统的焊接加工方法及用途，在本发明中，提供一种新型的焊接加工方法，在保证冷却系统焊接后变形可控，成品壁厚均匀性达到技术要求的同时，又能够去除加工余量且保证产品的平面度，可操作性强，使用简便，适于推广。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种真空冷却系统的焊接加工方法，所述焊接加工方法包括：

将两件产品的焊接面朝外，非焊接面相互贴合固定，对焊接面进行焊接，待产品冷却去除内部应力解除固定，检测产品的平面度并去除加工余量。