[发明专利]溅镀靶、积层膜的制造方法、积层膜及磁记录媒体

说明书

本发明涉及溅镀靶、积层膜的制造方法、积层膜及磁记录媒体，其中该溅镀靶含有Co与选自由Cr及Ru组成的群中之一种以上的金属作为金属成分，上述选自由Cr及Ru组成的群中之一种以上的金属的含量相对于Co的含量的摩尔比为1/2以上，且含有Nb₂O₅作为金属氧化物成分。

本申请是国家申请号为201880003684.7,国际申请日为2018年08月16日，发明名称为“溅镀靶、积层膜的制造方法、积层膜及磁记录媒体”的中国专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及一种含有Co与Cr及/或Ru作为金属成分，例如适宜用于形成垂直磁记录媒体的基底层与磁性层之间的中间层等的溅镀靶、积层膜的制造方法、积层膜及磁记录媒体，尤其提出一种可有助于硬磁碟驱动机的高密度化的技术。

背景技术

在硬磁碟驱动机中，在相对于记录面垂直的方向进行磁记录的垂直磁记录方式被实用化，该方式与此前的面内磁记录方式相比，能够进行高密度的记录，因此被广泛采用。

垂直磁记录方式的磁记录媒体大致是在铝或玻璃等基板上依序积层密接层、软磁性层、晶种(Seed)层、Ru层等基底层、中间层、磁性层及保护层等而构成的。其中，磁性层在下部存在以Co作为主成分的Co－Pt系合金等中分散有SiO₂或其他金属氧化物的颗粒(グラニュラ)膜，具有较高的饱和磁化Ms与磁各向异性Ku。又，积层于磁性层下方侧的中间层是由Co－Cr－Ru系合金等中分散有相同的金属氧化物的组织结构所构成的，有为了成为非磁性而含有相对较多的Ru或Cr等的情形。

在此种磁性层及中间层中，成为非磁性材料的上述金属氧化物向沿垂直方向配向的Co合金等磁性粒子的晶界析出，降低磁性粒子间的磁相互作用，由此实现杂讯特性的提高及较高的记录密度。

再者，一般而言，磁性层或中间层等各层通过使用具有特定的组成或组织的溅镀靶在基板上进行溅镀而制膜形成。作为此种技术，先前有专利文献1所记载等。

背景技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5960287号公报。

发明内容

发明所欲解决的问题

且说，为了实现硬磁碟驱动机的高密度化，要求磁各向异性Ku的增大以确保热稳定性，及磁性粒子的较高的磁分离性以提高解析度。

然而，在如上所述的饱和磁化Ms较高的磁性层中，由于磁性粒子间的交换耦合较为牢固，故而磁性粒子彼此的磁分离性不足。此处，若为了提高磁分离性而添加较多的金属氧化物，则金属氧化物进入磁性粒子内而导致磁性粒子的结晶性劣化，随之饱和磁化Ms及磁各向异性Ku降低。

本发明将解决现有技术所存在的此种问题作为问题，其目的在于提供一种不会大幅地降低磁记录媒体的磁性层的磁各向异性而可提高磁性粒子间的磁分离性的溅镀靶、积层膜的制造方法、积层膜及磁记录媒体。

解决问题的技术手段

发明人努力进行研究，结果获得如下见解，即，作为分散于磁性层及中间层的磁性材料即Co合金中的非磁性材料的金属氧化物，除使用此前所使用的SiO₂等以外或取而代之而使用Nb₂O₅，由此，即便不那么增大金属氧化物的含量，亦可显著地改善磁性粒子间的磁分离性。又，发现由此可维持以Co－Pt为主体的磁性层的较高的饱和磁化Ms与较高的磁各向异性Ku。认为其原因在于，Nb₂O₅与Co的润湿性适度，且即便缺失一部分氧，亦可作为稳定的氧化物存在，但本发明并不限定于此种理论。