[发明专利]电极传感器及其制备方法、检测系统和检测方法

说明书

本发明提供一种电极传感器及其制备方法、检测系统和检测方法。电极传感器包括：第一电极；第二电极，位于第一电极的一侧，与第一电极具有间距；透明隔离层，包覆第二电极，用于将待测气体与第二电极隔离；第一电极与第二电极的材料相同；第一电极与待测气体接触后发生反应，且第一电极的表面颜色和阻值随着反应时间的变化而变化。通过第一电极与待测气体反应后的颜色变化来判定环境中是否含有待测元素，同时采用第二电极和透明隔离层作为对照，可以更快速地看出第一电极颜色的变化；通过反应后第一电极的电阻，来判断待测气体的浓度。在对人身安全进行预警的同时，对器件运输、保存环境进行快速评估，保障器件在复杂环境下的高可靠应用。

技术领域

本发明涉及集成电路技术领域，特别是涉及一种电极传感器及其制备方法、检测系统和检测方法。

背景技术

随着人类文明发展，工业化进程中会产生大量废气，其中有害元素会在空气中以单质或者化合物的形式存在，会对环境或者人的健康带来影响，且元器件长期置于含有能够与器件发生反应的气体的环境中，也会对含有元器件的电子设备造成不良影响。在电子元器件的失效案例中，大部分元器件失效都是由于其内金属与环境中的气体元素发生反应，引起电阻变化，甚至引发开路，导致器件失效。因此，很有必要对环境中的元素含量进行监测，提前预警腐蚀环境可能造成的影响。然而目前市场上仍缺少可快速评价环境中气体浓度的传感器，且现有的检测装置和检测方法的检测原理比较复杂，不能简洁直观地知晓待测环境中是否有待测元素以及元素浓度是否过高。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明设计了一种电极传感器及其制备方法、检测系统和检测方法，可快速检测环境中是否有待测元素以及元素浓度是否过高。

本发明设计了一种电极传感器，包括：

第一电极；

第二电极，位于所述第一电极的一侧，与所述第一电极具有间距；

透明隔离层，包覆所述第二电极，用于将待测气体与所述第二电极隔离；

所述第一电极与所述第二电极的材料相同；所述第一电极与待测气体接触后发生反应，且所述第一电极的表面颜色和阻值随着反应时间的变化而变化。

在其中一个实施例中，所述电极传感器还包括：

第三电极，与所述第一电极和所述第二电极间隔排布；所述第三电极的材料与所述第一电极的材料相同；

透明吸附层，包覆所述第三电极，用于吸附所述待测气体。

在其中一个实施例中，所述待测气体包括含硫的化合物；所述第一电极、所述第二电极和所述第三电极均包括银电极或铜电极；所述透明隔离层包括聚甲基丙烯酸甲酯层或823胶层；所述透明吸附层包括硅胶层。

在其中一个实施例中，所述第一电极的形状、所述第二电极的形状和所述第三电极的形状均包括蛇形、多环形、品字形、弹簧形、直线形或片状。

本发明还设计了一种电极传感器的制备方法，包括：

提供基板；

于所述基板上制备间隔排布的第一电极和第二电极；所述第一电极与所述第二电极的材料相同；所述第一电极与待测气体接触后发生反应，且所述第一电极的表面颜色和阻值随着反应时间的变化而变化；

于所述基板上形成透明隔离层，所述透明隔离层包覆所述第二电极，所述透明隔离层用于将待测气体与所述第二电极隔离。

在其中一个实施例中，所述基板包括玻璃基板，于所述基板上制备间隔排布的第一电极和第二电极之前，还包括对所述基板进行疏水处理的步骤。