[发明专利]电极传感器及其制备方法、检测系统和检测方法有效

专利信息
申请号: 202111086102.6 申请日: 2021-09-16
公开(公告)号: CN113899791B 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 翁章钊;罗幸君;王小强;罗军;余永涛;蔡宗棋;梁永红 申请(专利权)人: 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
主分类号: G01N27/12 分类号: G01N27/12
代理公司: 华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 关志琨
地址: 511300 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 电极 传感器 及其 制备 方法 检测 系统
【权利要求书】:

1.一种电极传感器,其特征在于,所述电极传感器包括:

第一电极;

第二电极,位于所述第一电极的一侧,与所述第一电极具有间距;

透明隔离层,包覆所述第二电极,用于将待测气体与所述第二电极隔离,以使所述第二电极不与所述待测气体发生反应;其中,所述待测气体包括含硫的化合物;所述含硫的化合物包括硫化氢气体、一氧化硫气体、二氧化硫气体、羰基硫和含硫氨基酸中的至少一种;

第三电极,与所述第一电极和所述第二电极间隔排布;

透明吸附层,包覆所述第三电极,用于吸附所述待测气体;所述透明吸附层吸附所述含硫的化合物,以加速所述第三电极与所述待测气体的反应;

所述第一电极、所述第二电极与所述第三电极的形状均包括蛇形;所述第一电极、所述第二电极与所述第三电极的材料均包括银金属微米线材料;所述第一电极及所述第三电极与所述待测气体接触后发生反应,且所述第一电极的表面颜色和阻值随着反应时间的变化而变化;其中,所述电极传感器置于所述待测气体的环境内预设时间后,所述第一电极与所述第二电极的表面颜色不同。

2.根据权利要求1所述的电极传感器,其特征在于,所述透明隔离层包括聚甲基丙烯酸甲酯层或823胶层;所述透明吸附层包括硅胶层。

3.根据权利要求1所述的电极传感器,其特征在于,所述第一电极的形状、所述第二电极的形状和所述第三电极的形状均包括多环形、品字形、弹簧形、直线形或片状。

4.一种电极传感器的制备方法,其特征在于,包括:

提供基板;

于所述基板上制备间隔排布的第一电极、第二电极与第三电极;所述第一电极、所述第二电极与所述第三电极的形状均包括蛇形;所述第一电极、所述第二电极与所述第三电极的材料均包括银金属微米线材料;

于所述基板上形成透明隔离层,所述透明隔离层包覆所述第二电极,所述透明隔离层用于将所述待测气体与所述第二电极隔离,以使所述第二电极不与所述待测气体发生反应;其中,所述待测气体包括含硫的化合物;所述含硫的化合物包括硫化氢气体、一氧化硫气体、二氧化硫气体、羰基硫和含硫氨基酸中的至少一种;

于所述基板上形成透明吸附层;所述透明吸附层包覆所述第三电极,用于吸附所述待测气体;所述透明吸附层吸附所述含硫的化合物,以加速所述第三电极与所述待测气体的反应;

所述第一电极及所述第三电极与所述待测气体接触后发生反应,且所述第一电极的表面颜色和阻值随着反应时间的变化而变化;其中,所述电极传感器置于所述待测气体的环境内预设时间后,所述第一电极与所述第二电极的表面颜色不同。

5.根据权利要求4所述的电极传感器的制备方法,其特征在于,所述基板包括玻璃基板,于所述基板上制备间隔排布的第一电极和第二电极之前,还包括对所述基板进行疏水处理的步骤。

6.根据权利要求4或5所述的电极传感器的制备方法,其特征在于,所述透明隔离层包括聚甲基丙烯酸甲酯层或823胶层;所述透明吸附层包括硅胶层。

7.根据权利要求4所述的电极传感器的制备方法,其特征在于,所述于所述基板上制备间隔排布的所述第一电极和所述第二电极的方法包括电镀法、化学合成法、化学气相沉积法、物理溅射法或蒸镀法;所述于所述基板上形成所述第三电极的方法包括电镀法、化学合成法、化学气相沉积法、物理溅射法或蒸镀法。

8.一种检测系统,其特征在于,所述检测系统包括:

如权利要求1至3中任一项所述的电极传感器;

检测装置,至少与所述第一电极电连接,用于在所述电极传感器置于待测环境中时实时检测所述第一电极的电阻,基于所述第一电极、所述第二电极及所述第三电极的表面颜色判断所述待测环境中是否含有待测气体,并基于所述第一电极的电阻判断所述待测环境中所述待测气体的浓度。

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